据麦姆斯咨询报道，Menlo Micro近期在德国举行的电力电子系统及元器件展览会（PCIM）上展示了其MEMS功率开关MM9200在断路器中的应用演示（demo）。
Menlo Micro的MEMS功率开关MM9200
MM9200是Menlo Micro于2022年推出的一款基于玻璃衬底构建的高功率单刀单掷开关（SPST）MEMS开关，封装为QFN或WL-CSP两种可选。Menlo Micro创新的Ideal Switch技术可实现高度可靠的MEMS开关，能够以小尺寸承载高电压和高电流。
MEMS功率开关MM9200特点、应用及市场
MM9200提供超低导通电阻、低漏电流和高压关断，开关周期超过10亿次。由于其具有寿命长、电流消耗极低和外形小巧等特点，MM9200是替代机电继电器以及IGBT和MOSFET等固态开关的理想解决方案。与MOSFET固态开关不同，MM9200与机电继电器一样支持触点之间的双向电流。多个MM9200开关可以串联或并联连接，以分别提高额定电压或额定电流。
Menlo Micro功率MEMS开关产品副总裁Chris Umminger表示：“MM9200定位于机电继电器和固态MOSFET开关之间，在寿命方面不如固态开关，但优于机电继电器，另外MM9200在6mm x 6.5mm QFN封装尺寸中具有10mΩ的低导通电阻，这与固态开关相比，更具优势。”
在PCIM展会上，Menlo Micro演示了MM9200与SiC MOSFET开关的对比情况，该演示使用相同的电路板尺寸来突出在240V交流（AC）应用中MM9200 MEMS开关相比SiC MOSFET开关的优势。
Menlo Micro在两块电路板上进行了温度和导通电阻测量（电流为40A时）。40mm x 50mm面积的电路板上可以容纳24个MM9200 MEMS开关，而相同尺寸的SiC MOSFET开关只能容纳8个。
40mm x 50mm面积的电路板上分别集成了24个MEMS开关（左）和8个SiC MOSFET开关（右）
Chris Umminger说道：“MM9200开关配置为12并联-2串联，击穿电压为600V。采用MEMS开关的电路板的运行电流高达60A，但测量结果显示无法维持采用SiC MOSFET开关的电路板的工作电流超过52A。”
Chris Umminger继续说：“MEMS开关建立在采用晶圆光刻等半导体工艺之上，因此制造工艺是可扩展的，适合大批量生产。我们的首席技术官对如何向前发展有一些想法，而且基本原理有利于降低成本。目前存在的挑战之一是断路器有多种尺寸和额定值，因此这项技术可以用于开关阵列中，MM9200可能更适合更高功率的应用，并且导通电阻优势非常突出。”
Menlo Micro目前正在向包括欧洲在内的多家客户提供MM9200样品。
