新能源车用IGBT模块封装技术研究

摘要 


我国新能源汽车的关键零部件对外依赖程度较高,特别是在 IGBT 模块芯片方面,与先进国家技术实力相 比,我国还存在明显差距。因此,相关行业人员应深入研究 IGBT 技术,推动 IGBT 技术快速进步,以使我国新能源 汽车真正摆脱外国芯片。先分析新能源汽车产业现状,并指出新能源车用 IGBT 模块封装技术特征,再重点探究技术 的应用与发展,以期为相关行业人员提供参考。

0 引言 


在汽车领域新能源汽车是未来发展方向其优势在 于能减少排放量与我国节能减排的号召相适应为推动 新能源汽车产业发展我国制定了许多优惠政策但分析 我国新能源汽车产业发展情况发现我国新能源汽车生产 需要采用部分进口零部件尤其是 IGBT 模块这是我国 新能源汽车产业发展受限的关键基于此相关行业人员 应深入研究新能源车用 IGBT 模块封装技术以推动 IGBT 技术与新能源汽车产业同步发展

1 新能源汽车产业现状 


现阶段在全球节能减排领域新能源汽车属于重要产 业其在许多汽车大国得到重点扶持为促进新能源汽车 产业发展我国也出台了一系列利好政策如补贴政策税 收优惠政策不限行政策不限购政策免费停车政策等2022 我国新能源汽车销量超过 500 万辆市场处于爆 炸式增长状态成为新能源汽车产销大国但我国新能源 汽车的关键零部件对外依赖度较高特别是在以 IGBT 模 块为主的车用芯片领域与先进国家相比我国技术实力 还存在较大差距在汽车成本中IGBT 模块占比较大例 如国产 A00 级纯电动汽车其电驱动系统成本占比大约 为 11%, 而在电控系统中IGBT 模块成本又占比 44%左 右如图 所示由此可知IGBT 模块成本大概占据汽车 整体成本的 5%目前我国致力于发展 IGBT 技术以推动 国产新能源汽车真正使用上中国芯片 。

2 新能源车用 IGBT 模块封装技术特征 

 

2.1 IGBT 模块

IGBT 模块属于一种模块化半导体产品其由 个部 分组成即绝缘栅双极型晶体管芯片和续流二极管芯片通 过封装构成的 IGBT 模块能在许多设备上直接使用如变 频器设备UPS 不间断电源设备IGBT 模块的应用优势较其安装便捷能稳定散热和有效节能在节能环保理念 深入推进的背景下IGBT 模块的应用愈发广泛同时在 能源变换与传输系统中IGBT 模块属于核心元件与 CPU 类似目前在新能源装备领域应用较多

2.2 IGBT 模块封装技术

IGBT 模块封装技术主要包括焊接式和压接式 应用焊接技术时通常有 种形式即平面封装和引线键 合互联底板也有 种功能其一是对上部模块起到支撑 的功能其二是在运动情况下起到支持上部模块散热的功 能底板主要安装在最底部其四周连接两侧与外壳具有 保护内部构件的作用同时电极基板与内部半导体芯片 之间以焊接形式相连待电极上部与外部连接完成后可 在内部倒入硅凝胶发挥隔绝空气的作用以免内部半导 体暴露在空气中而受到腐蚀此外加入硅凝胶还能实现 抗震效果由于在单片功率芯片的情况下汽车能源需求难 以满足所以通常会采用并联多个芯片的方式将其放置 在同一基板上再通过并联多个基板的方式以提高功率、 扩大容量

与传统汽车相比新能源汽车在驱动方式上存在较大 不同其主要包括电动驱动混合动力驱动燃料与电力融 合驱动 种驱动方式新能源汽车无论是在功率密度方面, 还是在驱动效率方面都具有较高要求首先在新能源汽 车运行过程中尤其是启动频次较多的情况下流过 IGBT 模块的电流会急剧增长产生较高的温度同时在新能源 汽车放置较长时间后将其启动IGBT 模块温度也会出现 变化进而影响其使用寿命其次当启动驱动方式主要为 永磁同步驱动的新能源汽车时会难免发生电机堵转的问 题流经 IGBT 模块的电流也会急剧增长在局部位置形 成高温因而要求具备较高的散热能力再次新能源汽车 运行在凹凸不平的道路上会出现颠簸此时 IGBT 模块会 受到振动所以新能源汽车在引线端子上也有较高要求, 要求其具备良好的机械性能最后新能源汽车的车身尺 寸是固定的而在固定尺寸要求下不仅要保证 IGBT模块 功能也要保证其质量需要在此基础上逐渐加大功率密 度尽可能降低空间占用 。

3 新能源车用 IGBT 模块封装技术的应用与发展 

 

在 IGBT 模块生产中封装技术较为关键模块封装 是在集成半导体分立器件的基础上在模块内部完成封装, 并实现多种功能包括机械支撑散热通路以及外部环境 保护等IGBT 模块内部通常包含半导体芯片散热基板、 键合线功率引出端子焊接层以及封装管壳等多层结构 材料为提高电流承载能力半导体芯片往往以并联形式 连接并基于引线键合的方式在芯片上表面实现电气互连, 基于焊接的方式使芯片下表面与绝缘陶瓷衬板相连典型 焊接式 IGBT 模块结构如图 所示


有关研究证实当 IGBT 模块处于高温高压状态时, 芯片表面键合线与焊层内部较易产生疲劳失效通常情况 下个 IGBT 模块从生产到投入市场要经过 道工艺包 括贴片焊接等离子清洗键合等其中封装技术的重点 在于焊接与键合

3.1 焊接技术

为使 IGBT 模块具备较强的导热性能在焊接芯片与 DBC 基板时应确保焊接质量目前软钎焊接属于主流 技术而未来预计将发展为低温连接技术

3.1.1 软钎焊接技术 

在 IGBT 模块的封装过程中软钎焊接技术被广泛采 用这项技术主要利用真空回流焊接技术连接各种电气元 件如半导体芯片陶瓷衬板和基板等在软钎焊接过程 中常用的焊料包括 AnSnSnPbPbSnAg 焊料可以以 焊膏或焊片的形式使用使用焊膏焊接时需要使用助焊 剂并在焊接完成后进行清洗处理这种方式容易受到潮 湿环境的影响相比之下使用焊片焊接通常无需助焊剂, 焊接完成后也不需要清洗焊层更均匀但这种方法所需 的焊接设备较为复杂焊接时需要使用特制的夹具来定位 焊片和焊接件现阶段软钎焊接技术发展趋于成熟在模 块封装过程的应用较为广泛但与进口模块相比国产模 块在一致性与可靠性上还存在一定差距这也是国产新能 源汽车企业不使用国产模块的根本所在

3.1.2 低温连接技术 

SiC 模块出现后对焊接技术的要求更严格需要有效 提高焊接工艺可靠性所以开始运用低温连接技术其代表 工艺为银烧结工艺与软钎焊接技术相比该技术具有显 著的应用优势应用低温连接技术时其连接层具有 个 特性即较高热导率和电导率以银为例由于银的熔点在 900 以上所以针对银烧结层最高工作温度可控制在 700 左右与普通焊层相比银烧结层厚度较薄仅为普 通焊层的 50%80%左右而且与普通软钎焊层相比银烧 结层的电导率热导率更高高出 倍左右所以银烧结层 既具有良好的功率循环能力也具有良好的温度循环能力但这项技术的实施难度较大加之设备银粉成本较高需 要精确设定工艺参数因而阻碍着技术商业化发展进程国外先进汽车企业如英飞凌三菱已在部分 IGBT 模块焊接过程运用低温银烧结工艺我国目前也在努力实现 低温连接技术的规模化应用 。

3.2 键合技术 

IGBT 模块内部存在许多并联连接的芯片其上方发 射级与二极管芯片阳极连接两者连接方式以引线键合为 主同时半导体芯片绝缘衬板以及个别功率端子的连接 也采用键合线形式并通过引线键合作用形成完整的电路 结构因此在 IGBT 模块电流回路中键合线尤为关键, 其能起到有效连接的作用现阶段 IGBT 模块内部的键合 线种类较多包括铜线铝线铝包铜心线等。 

3.2.1 铝线键合 

铝线键合工艺的应用较为广泛其根本原因在于应用 成本较低这也是铝线键合工艺的突出优势但铝线也存 在不足之处如热学特性较差导电性能较差等尤其在热 碰撞性能上铝线与半导体芯片之间难以匹配会出现热 应力聚集导致键合线开裂和 IGBT 模块失效通过优化 铝键合线形状完善键合工艺参数等方式能提升 IGBT 模块的可靠性但提升程度也受限将铝键合线模块应用 于部分高功率新能源车辆电驱动系统中通常难以满足要 求目前铝线键合工艺已在我国模块封装中使用与国外 工艺相比并未出现明显的技术差距。 

3.2.2 铜线键合 

与铝线相比铜线的力学特性热学特性以及电学特 性更优基于铜线键合方式可使键合工艺的可靠性更强, 尤其是在功率密度较高散热效率较高的功率模块上采用 铜线键合方式能显著提升功率循环能力因此其在未来 有望成为典型技术形式铝线键合性能与铜线键合性能之 间的区别如表 所列


由表 可知与铝线相比铜线的功率循环能力能高出10 倍左右但因半导体芯片表面的金属化层会对铜线 键合的应用造成影响铜键合线无法与以铝金属化层为基 础的半导体芯片良好匹配为使半导体芯片表面适应铜线 键合往往要采取铜金属化处理措施如运用化学电镀方 式物理气相沉积方式等来实现这增加了工艺的复杂性同时与铝相比铜的硬度和杨氏模量都较大为保证键合 效果对超声能量的要求更高而这难免损伤超薄型 IGBT 芯片甚至可能导致芯片内部的元胞结构直接被损坏目 前铜线键合技术已在国外部分汽车企业的高性能模块中 使用而我国主要应用功率较低性能较低的模块并未广 泛使用铜线键合工艺因此为推动国产模块性能高质量 发展应攻克键合技术难点问题将国外先进技术壁垒打破 。 

通过分析模块封装工艺的 大关键技术即焊接技术 与键合技术可知在目前的 IGBT 模块领域中我国模块 封装企业在技术上还存在一定不足在国产模块的制造过 程中由于难以实现对质量的有效控制国产模块无论是 一致性还是可靠性都较差只有在 A00 级纯电动车这种低 端汽车生产中才会选择国产模块而高端新能源汽车目 前对国产模块并不信任因此现阶段一方面应优化IGBT 模块制造工艺采用先进技术如离子注入技术精细光刻 技术等通过缩小芯片尺寸硅片尺寸促进硅片切割利用 率提升降低 IGBT 模块制造成本另一方面应优化模块 封装技术在芯片技术成熟发展的背景下芯片工作温度 会逐渐升高热功率密度会逐渐加大所以需要不断改进 IGBT 模块封装技术以提升芯片焊接的可靠性降低热阻例如无绑定线键合双面冷却集成电流与温度传感器 等不仅能提高 IGBT 模块的功率循环频次还能有效降低 引线电感

4 结语 

 

为突破销量我国模块封装产业还应努力积累技术实 力在深入研究新能源车用 IGBT 模块封装技术的基础上, 生产性能更高的 IGBT 模块同时我国新能源汽车企业 也应信任支持国产模块对于模块封装企业而言应掌握 模块封装焊接技术键合技术推动自身转型实现高端化 发展

半导体工艺与设备 1、半导体工艺研究、梳理和探讨。 2、半导体设备应用、研发和进展。 3、建华高科半导体设备推广,包括:曝光机、探针台、匀胶机和切片机。 4、四十五所半导体设备推广,包括:湿化学设备、先进封装设备、电子元器件生产设备等。
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