MEMS频率调制陀螺仪及复合惯性传感器

原创 MEMS 2024-05-23 00:02

据麦姆斯咨询报道,2024年5月24日至26日,上海大学副教授陈建霖将参加《第61期“见微知著”培训课程:惯性传感器及应用》并进行授课,具体信息如下:

授课主题:MEMS频率调制陀螺仪及复合惯性传感器

授课老师简介:

陈建霖,博士,上海大学微电子学院副教授,博士毕业于日本东北大学机器人专业(日本学术振兴会JSPS特别研究员)。他主要从事高精度MEMS惯性器件、微纳器件非线性动力学和MEMS激光雷达等领域的研究,主要应用方向为未来自动驾驶汽车技术以及新一代高灵敏度MEMS传感器。他拥有多年器件设计、制造和测试经验,曾主持日本学术振兴会博士基金,并参与日本国立研究所(NEDO)科研项目、日本学术振兴会基盘研究项目。2023年入选上海市高层次人才引进计划以及主持传感技术联合国家重点实验室的开放课题一项。他在相关领域发表SCI论文8篇,发表EI论文15篇,申请日本发明专利1项,中国发明专利5项。

授课背景及内容:

MEMS陀螺仪主要基于两种控制方法运作:幅度调制(AM)和频率调制(FM)。在商用领域,绝大多数MEMS陀螺仪采用幅度调制控制方式,该方式通过测量与驱动方向垂直方向上可移动质量块的位移幅度来计算角速度。然而,基于幅度调制的MEMS陀螺仪面临诸如温度稳定性较低以及带宽和灵敏度之间需要权衡的问题,这些问题限制了其性能。虽然采用复杂的补偿技术能够使其达到导航级性能,但这样做不可避免地会增加生产成本。相比之下,基于频率调制的MEMS陀螺仪近年来受到越来越多的关注,因为它们提供更高的稳定性,以及较小的温度/应力漂移和长期稳定性。频率调制模式被视为高性能商用陀螺仪的更佳选择。本课程将深入讲解MEMS频率调制陀螺仪的工作原理、设计、制造过程及测试校准方法,并在课程的最后部分介绍加速度计与陀螺仪复合的MEMS频率调制惯性传感器。

课程提纲:
1. MEMS频率调制/全角陀螺仪概述;
2. 高对称性Z轴MEMS频率调制陀螺仪设计;
3. 高对称性X/Y轴MEMS频率调制陀螺仪设计;
4. MEMS频率调制陀螺仪的制造工艺与测试校准;
5. MEMS加速度/角速度频率调制复合惯性传感器研究。

培训详情:
https://www.memstraining.com/training-61.html

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