据麦姆斯咨询报道，2024年5月24日至26日，中国科学院空天信息创新研究院助理研究员熊兴崟（邹旭东研究员课题组）将参加《第61期“见微知著”培训课程：惯性传感器及应用》并进行授课，具体信息如下：
授课主题：MEMS谐振式加速度计及倾角传感器
授课老师简介：
熊兴崟，博士，中国科学院空天信息创新研究院“传感技术国家重点实验室（北方基地）”助理研究员，邹旭东研究员课题组成员。他本科毕业于中央民族大学，获得电子信息工程专业学士学位，研究生毕业于中国科学院大学，获得地球与空间探测技术专业博士学位。2018年至2021年，在中国科学院空天信息创新研究院“传感技术国家重点实验室（北方基地）”从事博士后研究工作，2021年全职加入中国科学院空天信息创新研究院，任助理研究员。他长期从事微机电系统（MEMS）、高精度微惯性传感器以及微惯性传感器接口电路等研究工作。自2018年至今，他承担了国家自然科学基金、国家重点研发计划、国防科技创新特区、中科院“从0到1”原始创新项目等科研项目。研究成果在MEMS传感器领域内著名期刊及国际会议上共发表论文40余篇，授权发明专利20余项，曾获中国发明协会发明创新奖。
中国科学院空天信息创新研究院“传感器技术重点实验室”邹旭东研究员课题组自2016年起专注于MEMS谐振式加速度计、陀螺仪和倾角传感器的研究，在国家级基金和项目的支持下，成功研发了高性能的MEMS谐振式加速度计。邹旭东研究员课题组在这一领域积累了丰富的研究经验并拥有强大的研究团队，为倾角传感器和加速度计的研究提供了坚实的理论基础和技术支持。
授课背景及内容：
谐振式加速度计将待测的加速度信号转化为频率信号，通过检测谐振器谐振频率变化来反推外界加速度的大小和方向。谐振式加速度计采用频率调制检测机制，对低频噪声不敏感，抗干扰能力强，频率测量精度高。按照器件的材料特性，谐振式加速度计主要分成硅谐振式和石英谐振式两大类。与传统的石英谐振式加速度计相比，采用MEMS技术的硅谐振式加速度计具有以下优点：（1）单晶硅的杂质浓度极低，是一种比较理想的弹性结构材料；（2）MEMS工艺能够制造尺寸非常小的谐振器结构，可以有效地隔离其它器件产生的应力；（3）基于电容结构的谐振器的驱动和检测在设计上要比压电石英技术更加灵活。国内科研机构对于硅谐振式加速度计的研究进展迅速，目前正在向产业化阶段迈进，主要有清华大学、南京理工大学、华中科技大学、浙江大学、中国科学院等。本课程详解MEMS谐振式加速度计核心技术，从设计与制造到测试与校准，并传授MEMS谐振式倾角传感器知识。
课程提纲：
1. 高精度MEMS惯性传感器概述；
2. MEMS谐振式加速度计设计；
3. MEMS谐振式加速度计制造；
4. MEMS谐振式加速度计测试与校准；
5. MEMS谐振式倾角传感器；
6. MEMS谐振式加速度计总结与展望。
培训详情：
https://www.memstraining.com/training-61.html
