据麦姆斯咨询报道,2024年5月24日至26日,西北工业大学教授谢建兵将参加《第61期“见微知著”培训课程:惯性传感器及应用》并进行授课,具体信息如下:
授课主题:多环谐振式MEMS陀螺仪及应用
授课老师简介:
谢建兵,博士,西北工业大学机电学院教授、博士生导师,全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)委员、中国微米纳米技术学会微纳传感技术分会理事、中国仪器仪表学会量子传感与精密测量仪器分会理事。他的主要研究方向为MEMS惯性传感器及MEMS制造技术,主持国家自然科学基金项目3项、科技委领域基金1项、国家863计划项目2项、国家重点研发计划子课题1项、华为联合项目1项、西安市科技计划项目1项;发表SCI/EI论文20余篇,出版专著及教材5部;申请国家发明专利43项,其中已授权22项;制定国家标准1部;获国家技术发明奖二等奖1项、陕西省科学技术一等奖2项、中国机械工业科学技术一等奖1项、教育部技术发明奖二等奖1项;获得陕西省“三秦人才津贴”。
授课背景及内容:
MEMS多环谐振式陀螺仪是一种基于科里奥利效应的固体波动陀螺仪,与线振动MEMS陀螺相比,其具有全对称结构、高品质因数、较好的抗振动性能、低锚定损耗等优点。2003年,美国喷气推进实验室(JPL)和波音(Boeing)在单环谐振式陀螺仪的基础上提出了多环结构的MEMS碟形陀螺仪方案,即多环谐振式陀螺仪。同年,美国斯坦福大学采用Epi-Seal工艺研制出一种晶圆级封装多环谐振式MEMS陀螺仪,其环形直径范围在0.5 mm至2 mm之间,实现了陀螺仪的小型化。由于多环谐振式MEMS陀螺仪体现出导航级的性能潜力,国内很多高等院校和研究院所开展了深入研究工作,代表性单位有上海交通大学、西北工业大学、南京理工大学、东南大学、国防科技大学、苏州大学以及中北大学。目前,设计高性能多环谐振式MEMS陀螺仪的思路主要分为两种:(1)不改变陀螺仪拓扑结构,仅改变其结构参数,实现性能的提高;(2)改进陀螺仪拓扑结构使其达到更高的性能。本课程从高精度MEMS陀螺仪入手,讲解多环谐振式MEMS陀螺仪工作原理、设计与制造,以及融合智能算法的优化技术。
课程提纲:
1. 高精度MEMS陀螺仪的发展历程;
2. 多环谐振式MEMS陀螺仪高精度实现原理;
3. 多环谐振式MEMS陀螺仪结构拓扑设计与制造工艺;
4. 融合智能算法的多环谐振式MEMS陀螺仪参数优化;
5. 高精度MEMS陀螺仪典型应用及面临的挑战。
培训详情:
https://www.memstraining.com/training-61.html