微纳光栅MOEMS加速度计优化设计与测试

MEMS 2024-05-17 00:02

微机电系统(MEMS)加速度计以其体积小、功耗低、成本低等优势广泛应用在无人驾驶、地震检测等领域。目前主流MEMS加速度计以电容式检测为主,相较于电容式加速度计,光栅位移检测极限要高于电容式1 ~ 2个数量级,因此基于光栅检测的微光机电系统(MOEMS)加速度计具备精密光学检测高精度和抗电磁干扰的优势,将其检测方式用于MEMS加速度计中,可以实现更高精度的加速度检测。

据麦姆斯咨询报道,近期,中北大学研究团队提出一种基于微纳光栅泰伯效应的MOEMS加速度计,通过对加速度计结构和光栅结构参数进行优化,使其在20 g量程范围内获得了较大的结构灵敏度和衍射效应灵敏度。通过采用温度闭环反馈控制技术,使加速度计零偏稳定性达到3.7 μg,相较于无温控情况提升了近7倍。最终实现微纳光栅MOEMS加速度计的灵敏度为5.23 V/g,线性相关系数为99.9%,分辨率为286.8 μg。相关研究成果以“微纳光栅MOEMS加速度计优化设计与测试”为题发表在《微纳电子技术》期刊上。

微纳光栅MOEMS加速度计工作原理

这项研究设计的微纳光栅MOEMS加速度计结构模型及工作原理如图1所示。加速度计主要由两层结构组成:上层结构由玻璃基底和沉积在玻璃基底上的光栅构成,下层结构为可动机械结构,具体由一个质量块、四个蟹形悬臂梁、环形反馈导线和第二层光栅构成。由于下层光栅是通过磁控溅射方式溅射于质量块表面,当加速度计受到敏感轴方向的加速度作用时,下层光栅会随着敏感质量块与上层光栅间形成相对运动,从而引起衍射光强强度的变化,通过光电探测器检测光强的变化即可得到外部加速度。


图1 微纳光栅MOEMS加速度计结构模型及工作原理

微纳光栅MOEMS加速度计仿真设计

为了保证MOEMS加速度计量程范围满足导航领域的需求,研究人员针对量程为20 g的加速度计结构进行设计,并通过COMSOL多物理场仿真软件对加速度计结构尺寸和参数进行优化,使其在20 g量程范围内获得较大的结构灵敏度和衍射效应灵敏度,同时通过仿真分析了该结构的交叉轴串扰情况。


图2 微纳光栅MOEMS加速度计力学分析


图3 MOEMS加速度计模态分析


图4 微纳光栅参数仿真分析


图5 MOEMS加速度计交叉轴串扰仿真结果

实验测试与分析

研究人员通过光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀、阳极键合等MEMS加工技术对光栅MOEMS加速度计进行制备。为了评估光栅MOEMS加速度计性能,建立了加速度计静态测试系统(测试系统依靠重力加速度施加,测试范围为-1 g ~ 1 g)。为了减小由于温度起伏对光栅加速度计零偏的影响,研究人员采用温度闭环反馈控制技术将加速度计温度变化控制在±10 mK范围内。加速度计在0 g状态下,探测器输出电压经过调理电路处理后,以0.02 s为采样时间,长时间(2000 s)记录信号。通过Allan方差分析加速度计的零偏稳定性,结果表明零偏稳定性为3.7 μg,相比于未加温控的情况,零偏稳定性提升了近7倍。此外,对加速度计进行静态测试,测得加速度计灵敏度为5.23 V/g,线性相关系数为99.9%,分辨率为286.8 μg。


图6 温度控制电路原理图


图7 温控闭环反馈电路效果对比结果


图8 MOEMS加速度计实验测试结果


图9 MOEMS加速度计零偏稳定性

综上所述,这项研究工作提出一种基于双光栅泰伯效应的MOEMS加速度计,通过对加速度计结构尺寸和光栅参数进行优化设计,并采用温度反馈控制技术,使得加速度计性能显著提升。该研究为提升MEMS加速度计的零偏稳定性提供了技术支撑。

论文信息:
DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.24040403

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