高灵敏度低噪声MEMS加速度计

原创 MEMS 2024-05-13 00:01

据麦姆斯咨询报道,2024年5月24日至26日,英国约克大学助理教授赵纯将参加《第61期“见微知著”培训课程:惯性传感器及应用》并进行授课,具体信息如下:

授课主题:高灵敏度低噪声MEMS加速度计

授课老师简介:

赵纯,博士,英国约克大学(罗素集团大学成员,英国高校学术研究排名REF前十)助理教授。他分别于华中科技大学、英国帝国理工学院、英国南安普顿大学取得工学学士、理学硕士和博士学位。完成博士研究后,他先后历任欧洲夏普研究实验室(Sharp Laboratories of Europe,Oxford)研究科学家、英国剑桥大学博士后、华中科技大学副研究员。目前,他还兼任IEEE Sensors Journal杂志副主编,以及IEEE MEMS(2024)、Eurosensors(2021-2023)会议的Technical Program Committee(TPC)成员等。研究兴趣主要集中在MEMS传感器(包括惯性器件等)和能量收集器领域,以及MEMS/NEMS器件设计和理论,尤其是微纳谐振器的非线性动力学及模态耦合研究。截至2024年4月,研究成果发表在Nature CommunicationsPhysical Review AppliedIEEE JMEMS等领域内知名期刊,以及IEEE MEMS、Transducers等国际会议上,并被引用超过2200次(Google Scholar)。

授课背景及内容:

MEMS加速度计经过近四十多年的发展,是目前产业化最为成功、应用最为广泛的MEMS器件之一。MEMS加速度计由于尺寸小、重量轻、功耗低、可批量生产等优点,广泛应用于消费电子、汽车电子、工业控制、航空航天、军事国防等领域。常见的MEMS加速度计类型有压阻式、电容式、压电式、谐振式等。其中,电容式和谐振式在高精度惯性应用领域具有巨大的发展潜力。高灵敏度低噪声MEMS加速度敏感元件和低噪声接口电路是实现高精度加速度计的必要条件。优化加速度敏感元件结构、实施温度和应力补偿、改进器件封装(例如低应力封装、晶圆级真空封装)等是提升MEMS加速度计性能和长期稳定性的主要方式。本课程阐述高灵敏度低噪声MEMS加速度计发展历程,并以电容式和谐振式两类为例讲解MEMS加速度计设计与制造,同时辅以接口电路设计知识。

课程提纲:
1. MEMS加速度计分类及对比;
2. 高灵敏度低噪声MEMS加速度计发展历程;
3. 电容式高灵敏度低噪声MEMS加速度计设计及制造;
4. 谐振式高灵敏度低噪声MEMS加速度计设计及制造;
5. 高灵敏度低噪声MEMS加速度计接口电路设计;
6. 高灵敏度低噪声MEMS加速度计未来趋势。

培训详情:
https://www.memstraining.com/training-61.html

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