据麦姆斯咨询报道，2024年5月24日至26日，浙江大学副教授马志鹏将参加《第61期“见微知著”培训课程：惯性传感器及应用》并进行授课，具体信息如下：
授课主题：新型“零刚度”MEMS加速度计关键技术
授课老师简介：
马志鹏，博士，浙江大学航空航天学院副教授、博士生导师，博士毕业于日本京都大学微细工程系，担任过日本京都大学工学院Program Specific Assistant Professor，自2018年开始在浙江大学航空航天学院微小卫星研究中心任教。他长期从事MEMS、惯性传感和智能化系统研究工作，发表论文20余篇、授权专利5项；主持国家自然科学基金2项、浙江省自然科学基金、横向等多项课题；担任IEEE Inertial 2024 TPC联席主席、中国微米纳米技术学会/中国仪器仪表学会/中国宇航学会高级会员、全国研究生教育评估监测专家库专家、浙江大学航空航天学院国际化工作委员会委员；兼任IEEE Sensors Letters副主编以及Journal of Micromechanics and Microengineering、Microsystems & Nanoengineering、IEEE Transactions on Automation Science and Engineering、Precision Engineering、Measurement Science and Technology等10余个国内外学术期刊审稿人。
授课背景及内容：
MEMS加速度计是各种高科技应用的关键器件，不过面临着温度引起的精度漂移的挑战。传统的解决方案包括设计对温度不敏感的结构和改进制造工艺等，但这些解决方案的效果有限。浙江大学马志鹏等人提出了一种新型静电修调“零刚度”MEMS加速度计，在精度和温度稳定性方面实现了显著的改进，研制的最新样机关键指标（带宽超50 Hz、零偏不稳定性800 ng、温漂系数7 μg/℃）达到了国际一流水平。这项创新技术不仅解决了温度漂移的长期挑战，还为MEMS加速度计在太空探索和环境监测等关键领域的应用铺平了道路，有望彻底改变高精度测量和控制系统。本课程首先针对静电修调MEMS加速度计进行技术探索与详细分析，包括MEMS芯片设计与制造、ASIC芯片设计、动力学与噪声建模等，然后针对“零刚度”MEMS加速度计进行控制系统优化与分析、噪声/温漂抑制等。
课程提纲：
1. 惯性传感器技术最新发展动态与挑战；
2. MEMS加速度计的静电刚度修调技术探索；
3. 静电修调MEMS加速度计设计、制造与电路；
4. 静电修调MEMS加速度计动力学与噪声建模；
5. “零刚度”MEMS加速度计控制系统优化与分析；
6. “零刚度”MEMS加速度计噪声/温漂抑制技术研究；
7. “零刚度”MEMS加速度计技术总结与展望。
培训详情：
https://www.memstraining.com/training-61.html
