基于腔光力系统的高精度微惯性传感器:从机理到实现

原创 MEMS 2024-04-16 00:02

据麦姆斯咨询报道,2024年4月26日至28日,电子科技大学副教授黄勇军将参加《第59期“见微知著”培训课程:硅光子传感技术及应用》并进行授课,具体信息如下:

授课主题:基于腔光力系统的高精度微惯性传感器:从机理到实现

授课老师简介:

黄勇军,博士,电子科技大学副教授。博士毕业于电子科技大学,后留校任教,期间曾赴美国哥伦比亚大学、加州大学洛杉矶分校学习交流两年,师从IEEE/OSA/APS/SPIE/NAI Fellow Chee Wei Wong教授。他的研究领域主要包含基于腔光力系统的高精度微加速度计、微陀螺仪、微磁场传感器、微腔振荡器及芯片级原子钟等。他曾主持国家自然科学基金(NSFC)青年及面上、JKW173基金及GF创新特区、ZF预研基金、ZF“慧眼行动”、ZF-教育部联合基金等10余项国家级项目,对新型腔光力高精度微加速度计、微陀螺仪等惯性传感器芯片开展了系统深入的研究工作,研制出系列微惯性传感器芯片,构建了完整的腔光力微惯性传感器芯片技术体系。他发表中外高水平期刊论文100余篇,总被引3400余次,授权发明专利15项。其技术成果已联合航天科技/科工、中航工业、军事科学院、兵器工业等多家单位开展引导转化应用。他曾获四川省科技进步奖、省学术技术带头人后备、博士后创新人才支持计划、电子教育学会优秀博士学位论文奖等荣誉,并在科技部期刊《中国高新科技》做封面人物报道。

授课背景及内容:

电容式MEMS惯性传感器已经获得广泛应用,从智能手机到自动驾驶汽车,但其在精度、灵敏度及稳定性等性能指标上受到制约。近年来,随着微纳加工技术的进步,微纳光腔以及微光机电系统(MOEMS)传感器快速发展。其中,微腔光力系统已经逐渐成为新兴微纳惯性传感的全新解决方案,可广泛用于微小位移、质量、加速度、引力波等物理量的测量。以基于科氏效应的微陀螺仪为例,其可将输入角速度转换为检测位移,而微腔光力系统对位移物理量具有极高的测量精度,这为设计实现高测量灵敏度及精度、高零偏稳定性、大动态范围、不易受电磁干扰的新型高精度微陀螺仪提供了一种新的思路。本课程详解基于腔光力系统的高精度微惯性传感器,从工作机理到工程实现,涵盖加速度计、陀螺仪和磁场传感器。

课程提纲:
1. 腔光力学系统工作机理;
2. 基于腔光力系统的高精度加速度计;
3. 基于腔光力系统的高精度陀螺仪;
4. 基于腔光力系统的高精度磁场传感器;
5. 基于腔光力系统的惯性传感器总结与展望。

培训详情:
https://www.memstraining.com/training-59.html

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