硅基OLED是VR/AR及元宇宙等新兴产业重要的硬件基础,而硅基OLED蒸镀机是硅基OLED显示器件制备环节的核心设备。蒸镀机将有机发光材料精准、均匀、可控地蒸镀到基板上,是推动相关技术实现产业化的关键基础,也是保障高精细度显示产品顺利量产的核心要素。
作为国内率先布局OLED蒸镀设备研发企业,合肥欣奕华已完成国内首台全自主研发的12英寸硅基OLED蒸镀机量产交付。该企业自主研制的成套系统设备蒸发速率稳定性、对位精度、蒸镀膜厚均一性和重复性等关键技术指标,达到了国际先进水平,进一步提升了产业技术水平,同时大大降低产业链企业的设备采购成本,为合肥新型显示产业工艺创新增添动力。