镓仁半导体推出2英寸晶圆级氧化镓衬底

半导体前沿 2024-04-10 17:00


4月9日,杭州镓仁半导体有限公司(下文简称“镓仁半导体”)宣布正式推出2英寸晶圆级(010)氧化镓单晶衬底,在(010)衬底的研发生产方面再创新高。


来源:镓仁半导体



据介绍,氧化镓(β-Ga2O3) 具有禁带宽度大、击穿场强高、巴利加优值大等优点,使基于氧化镓的功率器件具有更大的工作电流、电压以及更小的导通电阻、器件尺寸和更高的转换效率,主要用于制备功率器件、射频器件及探测器件,在轨道交通、智能电网、新能源汽车、光伏发电、5G移动通信、国防军工等领域具有广阔应用前景。此外,与目前火热的碳化硅相比,氧化镓的大硅片相对容易制造,有利于降低生产成本并提高产量,市场潜力大。


镓仁半导体指出,在氧化镓单晶衬底常见的主流晶面中,(010)衬底在物理特性和外延方面具有出色的表现。首先,(010)衬底热导率最高,有利于提升功率器件性能;第二,(010)衬底具有较快的外延生长速率;第三,基于(010)衬底制备的器件具有更优异的性能。


值得一提的是,此前,镓仁半导体联合浙江大学杭州国际科创中心先进半导体研究院、硅及先进半导体材料全国重点实验室,采用自主开创的铸造法于今年2月成功制备了高质量6英寸非故意掺杂及导电型氧化镓(β-Ga2O3)单晶,并加工获得了6英寸氧化镓衬底片。镓仁半导体也借此成为了国内首个掌握6英寸氧化镓单晶衬底制备技术的产业化公司。

如今镓仁半导体再次推出新产品——2英寸晶圆级(010)氧化镓半绝缘单晶衬底,并实现了2英寸(010)氧化镓单晶衬底的自主量产,对国内氧化镓相关产业摆脱国际垄断起正面作用。


来源:集邦化合物半导体


以碳化硅、氮化镓为代表的宽禁带化合物半导体(又称“第三代半导体”)是战略性新兴产业的核心材料,可满足现代电子技术对高温、高功率、 高压、高频以及高辐射等恶劣条件的新要求,在《“十四五”规划和2035年远景目标纲要》中被列为重点;碳中和与新能源体系变革的背景下,在风电、光伏、新能源汽车、储能、电网等行业应用前景广阔,并在显示与LED、射频等领域有重要应用。


据行业机构预测,2029年碳化硅产品市场将达94亿美元,中国将占据半数份额。其中衬底及外延环节成本占比极高且技术含量密集,是投资和创新重点。目前6英寸碳化硅已经稳定导入产业,8英寸项目国内外陆续发布,国内头部企业天岳先进、烁科晶体、天科合达等市占率全球靠前,供货国际头部功率半导体企业;器件方面,国产新能源汽车将带动本土企业不断突破及替代,意法与三安等国际合作也表明国内企业具备较强竞争力。


氮化镓功率产品市场需求预计2028年增至27亿美元,复合年增长率超60%。近年来,国内企业如英诺赛科、士兰明镓、三安光电等不断布局氮化镓项目,国外龙头如英飞凌、意法等也积极扩张氮化镓业务,增长潜力强劲。此外,氧化镓、氮化铝等下一代超宽禁带半导体制备正不断突破,产业化可期。


第四届碳化硅/氮化镓化合物半导体论坛2024将于2024年6月20-21日在太原召开。重点关注碳化硅、氮化镓产业链前景,最新衬底、外延、器件技术、项目投资与投产进展,碳化硅、氮化镓长晶与外延技术新突破,新一代超宽禁带半导体应用与产业化现状。参观碳化硅/氮化镓化合物半导体重点企业与项目。


会议主题:


  1. 国际形势对中国化合物半导体发展的影响

  2. 化合物半导体市场及产业发展机遇

  3. 6英寸与8英寸SiC项目投资与市场需求

  4. SiC长晶与外延工艺技术现状

  5. 液相法制备3C-SiC技术进展

  6. SiC国产化进程与设备国产替代 

  7. SiC市场以及技术发展难题&解决方案

  8. 硅基/碳化硅基GaN外延片技术进展

  9. GaN长晶难点及技术展望

  10. 1SiC与GaN器件下游应用及制造难点

  11. 1三代半功率器件封装技术

  12. 超宽禁带半导体材料进展:Ga2O3、AlN、金刚石等

  13. 工业参观与考察(重点企业或园区)



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  • 中国大陆半导体大硅片项目表(月度更新)

  • 中国大陆再生晶圆项目表(月度更新)

  • 中国大陆8英寸晶圆厂项目表(月度更新)

  • 中国大陆12英寸晶圆厂项目表(月度更新)

  • 中国大陆半导体封测项目表(月度更新)

  • 中国大陆电子特气项目表(月度更新)

  • 中国大陆半导体湿电子化学品项目表(月度更新)

  • 中国大陆晶圆厂当月设备中标数据表(月度更新)

  • 中国大陆上月半导体前道设备进口数据表(月度更新)

  • 中国大陆半导体大硅片项目地图(月度更新)

  • 中国大陆8英寸晶圆厂项目地图(月度更新)

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  • 《中国半导体湿电子化学品年度报告》
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  • 《中国第三代半导体(碳化硅与氮化镓)年度报告》
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