湿电子化学品属于电子化学品领域的一个分支,是微电子、光电子湿法工艺制程(主要包括湿法蚀刻、清洗、显影、互联等)中使用的各种电子化工材料,是超大规模集成电路、分立器件、液晶显示器、太阳能电池、LED等制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一。
随着集成电路制作要求的提高,对工艺中所需的湿电子化学品纯度的要求也不断提高。目前,湿电子化学品的核心要素是超净、高纯及功能性。其中,金属杂质含量和颗粒度这两个参数是湿电子化学品制备的关键之一,这对试剂提纯、包装等各方面提出了高要求。
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下游尤其集成电路先进制程对湿电子化学品的纯度、金属杂质含量、颗粒数量和粒径、品质一致性要求严苛,例如湿电子化学品金属杂质含量千亿分之一级的波动会对整条集成电路生产线的产品良率造成影响。一般蒸馏方法,可以实现湿电子化学品中离子含量从10-6 级降低到10-9 级,但要实现1.0×10-9 或1.0×10-10 比较困难,其对技术积累、人才储备、处理设备及材质、容器和环境都有较高要求且成本较高。
纯化工艺是使化学产品达到产品标准的核心,起决定性的是提纯技术和分析检测技术;在湿电子化学品的精馏过程中,PFA鲍尔环填料是必不可少的材料之一,且PFA鲍尔环的产品质量对湿电子化学品的纯度有至关重要的影响。
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PFA鲍尔环填料具有通量大、阻力小、分离效率高及操作弹性大等优点,在相同的降压下,处理量可较拉西环大50%以上。在同样处理量时,降压可降低一半,传质效率可提高20%左右。与拉西环比较,这种填料具有生产能力大、阻力小、操作弹性大等特点,在一般情况下同样压降时处理可比拉西环大50%-100%,同样处理时压降比拉西环小50%-70%,塔高也有降压,采用鲍尔环可以比拉西环节约20%-40%填料容积。
关于德赢创新
德赢(上海)创新半导体设备有限公司位于上海市松江区,固定资产约8000万元,主要从事高性能材料的应用解决方案。德赢自从推出高纯PFA填料产品之后,受到广大湿电子化学品企业的信赖,填料多次应用在G4、G5级别的湿电子化学品精馏塔中,金属离子控制在PPT级别。