据麦姆斯咨询报道，2024年3月29日至31日，芯云纳米（苏州）技术有限公司技术总监陈涛将参加《第58期“见微知著”培训课程：压力传感器及触觉感知》并进行授课，具体信息如下：
授课主题：MEMS压力传感器设计与制造实例解析
授课老师简介：
陈涛，博士，毕业于中国科学院上海硅酸盐研究所，主要从事压电材料研发、压电器件设计和制造方面工作，曾参与上海市科委科研计划项目、973项目子课题、中英关于超高温压电材料国际合作项目等。2017~2018年，在英国伦敦大学皇后玛丽学院从事微波介质材料和器件的设计和研发，研究方向为介质滤波器和声表面波滤波器关键材料的制备和研发；2019~2020年，从事射频MEMS器件的开发和可靠性分析。他于2020年获得姑苏紧缺人才称号，于2022年获得姑苏领军人才称号。目前，他所在的技术团队以MEMS产品研发和量产为重点，作为团队主要成员负责MEMS传感器方向设计和工艺，包括工业级压力传感器、气体传感器和流量传感器攻关项目。他发表过SCI核心论文7篇，申请专利10余项。
授课背景及内容：
MEMS压力传感器具有小型化、成本效益、易于批量生产和实现智能化等优点，因此，其应用领域越来越广，市场份额与日俱增。过去二十年来，MEMS技术在原理、设计和制造（例如体硅蚀刻、薄膜制造和低温键合）等方面的进步，促进了压力传感器的快速发展和多样化。采用新兴材料、创新设计和制造方法的新型压力传感元件，提供了更高的测量精度、微型化的尺寸以及更宽泛的温度适应性。本课程以市场上主流的压阻式和电容式两大类压力传感器为例，深度解析全球领先厂商的MEMS产品设计和制造，让学员们能够学习借鉴，触类旁通。
课程提纲：
1. MEMS压力传感器概述；
2. MEMS压阻式压力传感器设计及实例解析：博世、安费诺和Merit Sensor产品；
3. MEMS压阻式压力传感器制造工艺流程；
4. MEMS电容式压力传感器设计及实例解析：博世和英飞凌产品；
5. MEMS电容式压力传感器制造工艺流程。
培训详情：
https://www.memstraining.com/training-58.html
