半导体制造中的超纯PFA材料应用

半导体前沿 2024-03-22 16:57


什么是PFA材料?


PFA又称可溶性聚四氟乙烯。PFA树脂相对来说是比较新的可熔融加工的氟塑料,PFA 、FEP、PTFE 的化学性能相似,但FEP只能在200度以下使用,PTFE不能注塑。















(图源网络)


PFA优异的性能:


1、优良的化学稳定性:在面对各类强酸、强碱和有机溶剂时,表现出卓越的抗腐蚀能力。


2、高温稳定性:PFA的熔点约为305℃,玻璃转化温度为-60℃左右,因此可以在高温和低温环境下保持稳定的性能。


3、低吸水性:PFA的吸水性较低,其含水量对材料的性能影响较小。


4、 良好的绝缘性:PFA具有优异的绝缘性能,可在宽广的温度和频率范围内保持稳定的绝缘损耗系数和高体积电阻率。


5、 不粘性和低摩擦性:PFA本身具有不粘性,表面光滑,具有防水、油和其他物质的能力。


6、 无毒害:PFA具有生理惰性,可植入人体内,适用于医疗和食品接触应用。















什么是超纯PFA?


根据产品纯度、性能和应用领域,当前国内PFA主要可分为四类:普通级、涂料级、超纯级、半导体级。当前国内工厂只能生产出普通级、涂料级、超纯级三类产品,半导体级PFA的产能掌握在美国科慕、日本大金、比利时索尔维、美国3M等外企手中。
















图源网络)


PFA材料如何加工成型?


PFA材料从加工成型工艺上分为注塑成型工艺和挤出成型工艺。两中不同的成型工艺在行业有着不同的应用。


注塑级别的PFA材料广泛应用于制作耐腐蚀件、减磨耐磨件、密封件、绝缘件和医疗器械零件等。在半导体制造中,注塑级别的PFA材料可用于制作高纯度的流体管道和接头。


挤出级别的PFA材料广泛应用于制作高温电线、电缆的绝缘层、防腐设备、密封材料、泵阀衬套和化学容器等。在管道和线缆行业中,挤出级别的PFA材料可用于制作耐腐蚀、耐高温的管道和线缆护套。


超纯PFA广泛应用于半导体行业,尤其是湿法制程。不论是湿法蚀刻(Wet Etch)、化学机械抛光(CMP)、清洗(Cleaning)、光刻(Lithography)还是化学品供应系统。


PFA既能耐强酸强碱、耐高温高压的极端化学环境,又能通过热加工成型的方式制备成各种各样的形状,是半导体制造过程中用于化学品运送过程的理想材料。国内超纯PFA管阀接头等配件长期从日、美等国家进口。
















关于德赢创新



德赢(上海)创新半导体设备有限公司位于上海市松江区,固定资产约8000万元,主要从事高性能材料的应用解决方案。公司愿景是做特种高性能材料半导体级应用国产替代的领航者。德赢创新在PFA管阀件的研发上取得了显著成果,其开发的高纯系列1/4“到1寸的手/气动隔膜阀专用于超高纯腐蚀性气体和液体处理,对比国外友商同类产品做了结构上的优化改进,延长了使用寿命并降低成本。德赢创新开发的入珠式接头,优化了结构设计,在保证接头适配通用的前提下,获得了更加优秀的密封效果。国内半导体多家客户在验证和使用后对产品表示出信赖和支持,并已经批量采购及应用。


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