从近几年数据来看，中微公司2023年归母净利润创下近三年新高。其2021年至2023年，归母净利润分别为10.1亿元、11.7亿元、17.86亿元。按单季度计算，2023年第一季度至第四季度，其归母净利润分别为2.75亿元、7.28亿元、1.57亿元、6.26亿元。
中微公司2023年研发投入占营收比例为20.15%，比2022年提升0.56个百分点。
对于2023年业绩，中微公司董事长、总经理尹志尧在年报中表示，占该公司营业收入约75.1%的等离子体刻蚀设备在2021年、2022年分别增长了55.4%和57.1%；在此基础上，2023年增长了49.43%，营收达到47.03亿元。此外，该公司的MOCVD设备2023年实现营收4.62亿元。
据中微公司披露，该公司过去20年开发了一个完整系列的15种等离子体刻蚀设备，可覆盖我国95%以上的刻蚀应用需求，在性能、稳定性等各项指标上满足先进制程客户的各类严苛需求。
对于业绩增长的原因，中微公司在年度报告中也提到新增订单额。该公司表示，报告期内，其新增订单金额约83.6亿元，较2022年新增订单的63.2亿元增加约20.4亿元，同比增长约32.3%。
其中，刻蚀设备新增订单约69.5亿元，同比增长约60.1%；受终端市场波动影响，2023年MOCVD设备订单同比下降约72.2%。
“刻蚀设备和薄膜设备越来越成为更关键的、市场空间更大的设备品类，各占集成电路设备总市场的22%左右，而且还在持续增长。”尹志尧表示。
尹志尧提到，近两年新开发的沉积各种导体薄膜的设备LPCVD和ALD，已有4款设备进入市场，其中3款获得客户认证，取得了重复性订单。该公司计划在2024年推出超过10款新型薄膜沉积设备，快速扩大产品覆盖度。
该公司新开发的硅和锗硅外延EPI设备、晶圆边缘Bevel刻蚀设备等新产品，也计划在2024年投入市场验证。此外，中微公司通过投资布局了第四大设备市场——光学检测设备。
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