近日，江苏雷博微电子设备有限公司研发生产的国产首台平板显示掩膜版涂胶机正式出厂，这是雷博微电子在平板显示掩膜版涂胶机领域的一次重大突破，标志着雷博微电子在这一领域的技术实力得到了显著提升，为国产半导体设备产业注入了强大动力。
平板显示掩膜版涂胶机
掩膜版涂胶机是平板显示制造中的关键设备，它的作用是在平板显示器件的生产过程中，对掩膜版进行精确涂布，以保证显示屏的成像质量和性能，这一设备的精密程度直接关系到最终产品的质量。
长久以来，平板显示行业的核心设备依赖进口，这不仅增加了成本，也制约了国内产业的发展速度。雷博微电子国产首台平板显示掩膜版涂胶机的成功研发，为我国平板显示产业的自主创新和产业升级奠定了坚实的基础。
产品特点
1、设备兼容202448~851410规格的掩膜板，可适用多种尺寸；
2、采用不产尘设计、独立可控风道设计，洁净度优于十级；
3、涂胶腔体采用12K镜面板，易拆卸结构，便于清洁维护；
4、整机配备振动频率、噪音、加速度、激光测距等安全检测传感器，提高安全性能；
5、机台具备视频监控及日志功能，可追溯报警记录；
6、全自动传片，高精度伺服对中，配方自动运行，避免人为干预，提高产品良率；
7、设备可选配扩展垂直翻转上料机构、清洗单元、烤胶单元、UV清洗单元、slitcoat。产品参数
1、适用基片对角线尺寸400mm~1650mm，厚度0.5mm~16mm；
2、转速范围：±1000rpm，最大加速度：200rpm/s，转速精度：±0.5rpm；
3、光刻胶：1路（可选配3路），清洗液：1路；
4、光刻胶过滤器精度：0.1μm；
5、设备振动烈度≤0.5mm/s；
6、胶厚范围：200nm~5000nm，胶厚不均匀性≤±2%；
7、光刻胶供应：高精度胶泵。
江苏雷博微电子设备有限公司，致力于成为一家技术创新、服务用心的半导体设备供应商。公司起源于2013年，从江苏雷博科学仪器有限公司分拆成立。公司生产和销售不同领域的工业半导体设备，从事高端半导体设备开发并提供专业的半导体设备服务。主要产品有匀胶显影机、光刻机、去胶剥离机、清洗刻蚀机、喷胶机和甲酸回流机等全自动和半自动设备。公司产品被广泛应用于化合物半导体、LED、MEMS及先进封装等芯片制造领域。
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