由瑞士万通黄金赞助的第五届半导体湿电子化学品与电子气体论坛将于3月27-28日在无锡召开,详见后文
近日,西安交大研究团队采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)技术,成功实现2英寸异质外延单晶金刚石自支撑衬底的批量化。
该团队通过对成膜均匀性、温场及流场的有效调控,提高了异质外延单晶金刚石成品率。衬底表面具有台阶流(step-flow)生长模式,可降低衬底的缺陷密度,提高晶体质量。XRD(004)、(311)摇摆曲线半峰宽分别小于91arcsec和111arcsec,达到世界领先水平。
金刚石半导体具有超宽禁带、高击穿场强、高载流子饱和漂移速度、高热导率等材料特性,以及优异的器件品质因子,采用金刚石衬底可研制高温、高频、大功率、抗辐照电子器件,克服器件的“自热效应”和“雪崩击穿”等技术瓶颈,在5G/6G通信,微波/毫米波集成电路、探测与传感等领域发展起到重要作用。目前,金刚石电子器件的发展受限于大尺寸、高质量的单晶衬底。硅、蓝宝石等衬底的商业化,为异质外延单晶金刚石提供了前提条件。
据悉,西安交大宽禁带半导体材料与器件研究中心于2013年建立,实验室主任为国家级特聘专家王宏兴教授。实验室经过近10年的发展,已形成具有自主知识产权的金刚石半导体外延设备研发、单晶/多晶衬底生长、电子器件研制等系列技术,已获授权48项专利。与国内相关大型通信公司,中国电科相关研究所等开展金刚石半导体材料与器件的广泛合作,促进了金刚石射频功率电子器件、电力电子器件、MEMS等器件的实用性发展。
据陕创投消息,为了加速该项技术的快速产业化,王宏兴教授带领团队于2016年成立了西安德盟特半导体科技有限公司,全面启动了相关技术成果在市场端的转化应用。2021年,陕创投汉中基金向德盟特半导体 投资1500万元,协助德盟特半导体将研发生产基地落地到汉中高新区。德盟特半导体已经在汉中建成了中试生产线。
来源:集微网
论坛信息
会议名称:第五届半导体湿电子化学品与电子气体论坛
会议时间:2024年3月27-28日
会议地点:无锡
主办单位:亚化咨询
日程安排
3月26日
17:00~20:00 会前注册
3月27日
09:00~12:30 演讲报告
12:30~14:00 自助午餐与交流
14:00~17:30 演讲报告
17:30~19:30 招待晚宴
3月28日
09:00~17:00 商务考察
会议背景
高纯度湿电子化学品是晶圆制造过程中清洗、光刻、蚀刻等工艺流程的必备材料,也应用于硅片生产、后端封测环节。受市场影响,预计2023年半导体湿化学品市场规模为52亿美元,同比下降2%。整体市场有望在2024年反弹。
电子气体在半导体产业发展中不可或缺。近年来中国本土气体企业如派瑞特气、华特气体、南大光电等的部分产品逐步进入国内外先进晶圆厂中。预计电子特气市场在2023年收入将小幅收缩约2%,约67亿美元,2024年将恢复增长。
湿电子化学品与电子气体对纯度、杂质含量等参数要求极为苛刻,且种类繁多、认证严格,以往市场主要被海外企业占据,如欧美的巴斯夫、默克、空气化工以及日本的三菱、住友、大阳日酸等。目前国内企业处于快速发展阶段。
未来几年将是中国半导体制造产业高速发展期,传统晶圆厂的持续扩产、先进制程带动消耗量增长、第三代半导体项目加速建设以及国产保供替代诉求,使国内湿电子化学品与电子气体需求增速高于全球。半导体电子化学品及气体将迎来空前发展机遇。
由瑞士万通黄金赞助的第五届半导体湿电子化学品与电子气体论坛2024将于3月27-28日召开。会议由亚化咨询主办,多家国内外龙头企业重点参与。
会议主题
1.全球与中国半导体行业展望
2.全球与中国湿电子化学品与电子气体市场
3.海外进口与国内电子化学品市场的变化
4.碱性湿电子化学品在晶圆制造中的应用
5.酸性湿电子化学品的纯化技术及技术发展
6.半导体级双氧水在先进晶圆厂中的应用
7.电子前驱体材料市场趋势
8.半导体光刻配套试剂及气体
9.含氟电子特气生产及应用
10.半导体大宗气体、功能性湿化学品发展
11.湿电子化学品与电子气体先进技术与关键设备
参会费用
1人 | 团队报名(同一公司≥3人) | |
3.27 会议 | 3200元/人 | 2900元/人 |
3.28 参观 | 300元/人 | 300元/人 |
赞助方案
项目 | 项目内容 |
主题演讲 | 25分钟主题演讲 |
参会名额 | |
微信推送 | “半导体前沿”微信公众号, 企业介绍以及相关软文 |
会刊广告 | 研讨会会刊, 彩色全页广告(尺寸A4) |
资料入袋赞助 | 企业的宣传册放入会议包袋 |
现场展台 | 现场展示台,展示样品、资料, 含两个参会名额 |
现场易拉宝 | 现场1个易拉宝展示 |
礼品赞助 | 印有赞助商logo的礼品赠送参会听众 |
茶歇赞助 | 冠名和赞助会议期间的茶歇 |
晚宴赞助 | 冠名和赞助会议的招待晚宴 |
Logo展示 | 背景墙 logo,会刊封面logo |
报名方式
陈经理 18930537136 (微信同号)
关于亚化咨询
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