【会员风采】热烈祝贺原磊纳米首台先进制程ALD团簇机台出货

求是缘半导体联盟 2024-01-16 21:42

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2024年1月13日，由原磊纳米自主研发的首台先进制程ALD团簇机台A300成功交付客户，这一进展不仅体现了原磊纳米在ALD先进制程设备领域的创新实力，也展示了原磊纳米在推进半导体产业国产化进程中的坚定决心和显著成果。原磊纳米的这一创新成果为中国集成电路产业的腾飞注入了新的活力。

原磊纳米此次出货的ALD团簇式设备A300是集成电路先进工艺的关键薄膜沉积设备，基于原磊纳米自主研发的Elegant Cluster平台打造，主要应用于12英寸先进制程的逻辑、存储器件等生产制造，可满足氧化物、氮化物、金属等多种薄膜沉积需求。Cluster A300实现了PE和Thermal工艺的无缝衔接，大幅提高了工艺稳定性和生产效率。其中，Thermal ALD工艺腔配置了plasma自清洁功能，有助于提高设备的可靠性和延长PM周期，进一步提升了Cluster A300的性能和竞争力。该平台的各项工艺性能均达到了国际先进水平，并获得多方客户的肯定。

自成立以来，原磊纳米深耕ALD设备技术，通过不断创新和突破，产品线已实现了在集成电路先进制程、化合物半导体、光电、新能源、光学、科研等领域的全面覆盖，填补了多项国产化空白。

秉承着“专业、创新、诚信、责任”的核心价值观，原磊纳米不断追求卓越、创新发展，为打造纯国产先进半导体设备的高端民族品牌而不懈努力。

专业·创新·诚信·责任

南京原磊纳米材料有限公司

南京原磊纳米材料有限公司成立于2018年9月，由具有近20年半导体设备、工艺研发经验的专业团队创建，致力于成为高端半导体镀膜设备供应商。公司产品主要涵盖原子层沉积(ALD) 设备和硅锗外延 (EPI) 设备，全线产品对标海外大厂，领跑国内厂商。

子公司徐州原磊装配中心于2021年5月成立，拥有行业内最高标准的装配、测试和研发中心。

子公司江苏源和精密制造有限公司于2022年2月成立，拥有国内先进的进口五轴加工中心及高精度三坐标仪，支撑半导体高端设备精密制造。

公司致力于成为拥有设备、材料、工艺、零部件等核心技术的半导体设备供应商，打造一个全生态内循环的半导体设备公司，专注于先进半导体镀膜设备的定制、研发、生产和销售。

原磊纳米作为革新者立足改变国内半导体设备制造的传统风格，以领先的薄膜设备设计理念为基础，强大的半导体工艺和材料能力为驱动，通过自主创新研发设备，打造一个纯国产半导体设备的高端民族品牌。

联盟简介

缘于求是 · 芯想全球

求是缘半导体联盟是一个跨学科的全球化非营利性组织，以促进半导体产业合作和知识共享为愿景。联盟成立于2015年11月，主要由浙江大学校友发起，同时有其他高校校友参与，总部位于上海。联盟致力于为半导体和相关行业单位提供技术、资金、人才、运营管理、创新创业等方面的交流合作和咨询服务平台，从而助力全球、特别是中国的半导体及相关产业发展。

目前联盟不定期举办线上、线下专题活动，有一周芯闻、名家专栏、招聘专栏、活动报道、人物访谈等多种资讯栏目，同时提供咨询、资源对接、市场拓展等服务。