据麦姆斯咨询报道,2023年12月29日,北京赛微电子股份有限公司(以下简称“赛微电子”)控股子公司赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司(以下简称“赛莱克斯北京”)代工制造的某款MEMS IMU(惯性测量单元)通过了客户验证,赛莱克斯北京收到该客户发出的采购订单,启动首批MEMS IMU 8英寸晶圆的小批量试生产。
IMU是惯性测量定位的核心,是测量物体三轴姿态角 (或角速率) 及加速度的关键装置。MEMS IMU基于MEMS工艺技术制造,具有体积小、重量轻、能耗低等特点,以微小形态采集运动载体的加速度与角速度等惯性信息,可实时输出高精度的三维位置、速度、姿态等信息,并用于姿态平衡控制、导航定位、动作执行等环节。由于通过半导体工艺进行生产制造, MEMS IMU往往还可以集成多种MEMS惯性传感器的功能,同时具备极好的环境适应性,可被广泛应用于智能手机、可穿戴设备(包括 AR/VR/MR)、无人系统、智能驾驶、人形机器人等领域。
近年来,赛莱克斯北京持续加大研发投入,自主积累基础工艺,积极探索各类MEMS器件的生产诀窍,努力为全球通信、生物医疗、工业汽车、消费电子等各领域客户,尤其是中国本土客户提供优质的MEMS工艺开发及晶圆制造服务,积极推动公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生产制造能力, 加速国产替代。