面包芯语

MEMS培训讲义（内容非常全面）

EETOP 2023-12-15 11:38
泰克电源、数字万用表、探头大促 泰克2/3/4系列示波器、信号发生器大促

共11章节：

01-Introduction MEMS - A Toolbox for Miniaturization (Holden Li, NYTU)
02-Piezoresistive Sensors ‐Principles, Materials, Fabrication and Applications (Holden Li, NYTU)
03-Mechanics and Capacitive Sensors (Holden Li, NYTU)
04-Electrostatic Actuators (Holden Li, NYTU)
05-Thermal MEMS - Sensors and Actuators (Holden Li, NYTU)
06-Piezoelectric MEMS - Sensors and Actuators (Holden Li, NYTU)
07-MEMS Microfabrication - Introduction (Holden Li, NYTU)
08-MEMS Microfabrication - Bulk Micromachining (Holden Li, NYTU)
09-MEMS Microfabrication - Surface Micromachining (Holden Li, NYTU)
10-Packaging of MEMS (Holden Li, NYTU)
11-MEMS Testing and Reliability (Holden Li, NYTU)

以下为第一章（共97页）部分内容，共97页。其他章节内容，请点击左下角 阅读原文 前往论坛下载。




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评论
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