【求是芯星】中科孚迪科技发展有限公司创始人祁有丽博士

被访嘉宾简介 

（图为被访嘉宾中科孚迪创始人祁有丽博士）

被访嘉宾祁有丽博士，来自于求是缘半导体联盟会员单位中科孚迪科技发展有限公司。祁博士于2007年在中科院兰州化物所获得理学博士学位；2007年至2014年就职于中国石油润滑油研发中心，担任润滑防锈油液相关化学品研发工作；2015年至2016年在浙江大学机械学院机械工业设计研究所从事博士后研究。祁博士于2017年联合创办中科孚迪科技发展有限公司。作为从学术界跨向产业界的创始人，祁博士既拥有深厚的学术背景积淀，又长期扎根于应用工艺需求一线，围绕客户需求开发产品，实现客户需求和产品方案的落地。欢迎您与我们一起听祁博士介绍她对半导体行业功能湿电子化学品产业的见解和中科孚迪团队的创业故事。

求是缘：不同的下游应用：半导体、光学镜头、新能源、面板等领域所需的湿化学品在技术指标上有何差异？

祁有丽：湿电子化学品是一个宽泛概念，可根据应用范围不同分为通用和功能湿电子化学品。通用性的湿化学品包括：高纯度的酸、双氧水、碱等，在纯度等检测指标方面则根据其具体的使用场景各有差异。

功能性化学品，根据我们基于材料的理解和客户的需求来调制配方，是个性化定制。功能化学品的性能指标很难通过普通仪器定量、定性检测，只能通过具体应用来评价其有效性，它没有统一的技术指标。

我们以半导体领域用的湿化学品举例说明功能性化学品的特点。如硅片切割工序所使用的切割液会因切割工艺的不同而不同。比如切割使用不同的金刚线线、不同厂商的机台，不同切割速度以及不同地域对环保处理需求等会导致不同的配方搭建。不同晶圆在切、磨、抛以及后续外延层生长、PSS环节中均需清洗。

不同的加工流程所匹配的清洗液的技术指标也不同，如清洗切割所产生的固体颗粒的化学品需要考虑静电吸附，颗粒抗再沉等性能。清洗研磨后的悬浮剂既要考虑配方的乳化能力，又要考虑磨料的去除清洗，则又是一种配方组成。配套前道光刻胶去除方案需要考虑的因素则更复杂。因此我认为，所有的工艺流程都是一种个性化的定制，根据加工材料工艺特性、客户降本增效的需求、环保处理指标等去考虑配方的搭建。有的客户原来使用有机溶剂，但因环保法规对有机挥发物（VOC）的限制或者成本诉求，则转向水性的化学品方案。

因此针对功能性化学品，我们无法基于统一的技术指标来衡量化学品方案。我们更多是基于客户的应用体验来评价功能湿化学品的效果。

求是缘：从半导体制造整体工艺流程来看，从半导体的上游材料→中游晶圆制造→下游封测各个工序环节，分别需要用到哪些类型的湿化学品？

祁有丽：依据半导体生产制造上游-中游-下游的工艺流程，我分为三个部分来分别说明：

上游的衬底材料加工环节：无论是硅基、碳化硅、氮化镓、蓝宝石等衬底材料的长晶环节，晶锭的切、磨、抛、洗等工序均需要不同的化学品如切割液、研磨油，抛光浆料和各种清洗剂等。

中游的晶圆加工环节，在晶圆外延生长、掺杂（离子注入）和图案化等工序（光刻、刻蚀等）、CMP和清洗等工序也需要使用大量的配套化学品：显影液、光刻胶、去胶液、刻蚀液、抛光浆料以及清洗剂等等。

下游封装环节：芯片背面减薄、划切环节也需要使用到大量的化学品。如DISCO划切时需要具有润滑、冷却以及分散性能的化学品来保护刀片；激光划切时需要激光保护液来保证芯片的完好无损；芯片在划切时不断有细小的粉末产生，这一过程中更高清洁性能，更高纯度的清洗剂用量也是比较大。

求是缘：半导体制造上下游的所需的湿化学品供应市场呈现怎样的竞争格局，从供应链安全角度来看，还存在哪些不稳定的因素？

祁有丽：如之前所说，湿化学品分为通用和功能性化学品两大块。通用化学品的纯度较高，对后处理工艺要求高。这几年来，国内的通用化学品在技术指标和供应规模上进步显著，浓硫酸、双氧水、氢氟酸、磷酸、氢氧化铵等国产化供应链相对稳定。

功能性化学品需要加入各种添加剂来进行调和，添加剂位于产业链上游，技术壁垒较高，厂商的试错成本很高，目前功能化学品的市场份额主要集中在美、日、欧厂商手中，全球竞争格局相对稳定。国际上能够提供功能化学品的企业主要是德国巴斯夫、美国杜邦、亚什兰、日本关东化学、三菱化学、住友化学、韩国东友化学以及中国台湾鑫林化学等。这些企业也都是伴随当地半导体产业而逐步发展起来，占据全球市场85%左右的份额。

我国是半导体芯片消费的第二大国，湿电子功能化学品的进口替代在IC、 LED、LCD、平板显示以及光伏行业发展中的重要性毋庸置疑。国家也出台了很多政策来支持该领域的发展。电子化学品是世界上各国为发展电子工业优先开发的关键材料，也是国产替代的机遇和挑战。

如果从功能性化学品的上游供应链安全角度来看，存在不稳定的客观情况：进口添加剂厂商会在特殊时期减少对我国的供应，甚至在某些细分产品不供应给中国。

我们也在联合国产添加剂厂商来做功能性化学品的配方调配，虽然在外观、气味等次要指标上差强人意，但其主要核心性能指标已能满足客户的需求。

上游衬底材料→中游晶圆加工→下游封装，不同工艺环节匹配的功能性化学品门类各不相同，对应的供应格局也不同。上游工序上使用的晶圆切割液、清洗剂的国产化进步喜人。但越往要求更高的中游晶圆加工环节，国产功能性化学品竞争力则稍显薄弱，这也与我国在原材料单剂方面的产业积淀不深有关。

但受益于下游客户逐步推动对国产化学品供应商验证，我们上游国产单剂水平的能力亦逐步提升；更多从学界跨入到业界的产业专家搭配方案的技术水平能力亦能和国际接轨。假以时日，我们功能性化学品的综合水平会慢慢赶上来。

求是缘：您当初为何从稳定的科研体制内出来，创立中科孚迪？您觉得在体制内从事研发工作和现在创业，二者之间有哪些方面的不同？

祁有丽：回顾过去十多年，我经历了两个大的跨度变化：从学界跨到业界，从北方来到南方。我原来在中科院兰化所读博士，2007-2014年在中石油研发中心从事研发工作。中科院和中石油集团两大平台的优质专家资源、科研条件、科研管理流程让我受益良多，开阔了我的视野和格局，为我后来南下创业打下了坚实的产业科研基础。我把在学界养成的扎实科研能力和务实的心态带到业界来，对产业中新东西的把控会更精准。碰到新项目需求，我们会知道如何通过不同的技术文献、专利等来进行合理的规避，在短时间内产生研发应用成果。

我虽然来自于西北体制内，但我始终认为市场才是检验产业水平、创业团队的尺子。市场不看背景出身也不唯团队学历，市场只看“产品能否解决实际问题”、“性价比高不高”。创业团队的产品能力如何，市场立刻就能验证。市场始终是团队的创业方向修正和团队能力完善的外部动力。我举家南迁到杭州，也是源于内心长久以来”将纸上的科研数据转化成工业应用”的渴望，“将学术研究和产业应用更紧密结合”的朴素理念。

从北到南不仅仅只是一个区域的变化，更是我挥别原来熟悉的舒适圈，融入新产业圈的转变。于我而言，一切都是“从零开始”, 这是一个冒险的艰难选择。我历经北方和南方的跨度的同时，我也看到了南北两地产学研在合作深度和转换效率上的显著差异。

作为创业团队，我们始终面向企业客户，不仅要快速解决客户的工艺问题，还要满足客户在时间效率和成本方面诉求。此外，不同于体制内相对平稳的状态，创业者则要承受住企业发展过程中的起起落落的挫折和大开大合的成功喜悦。

求是缘：不同于其它公司的创业团队，中科孚迪的早期核心创始团队成员是您和您弟弟，这样的创始团队角色分工有何深意？

祁有丽：作为早期核心团队创始人，我和弟弟的专业背景相近又可以相互弥补。弟弟祁有凯毕业于哈尔滨工业大学材料学院，后又在某大型企业平台任职多年，身兼团队管理角色；弟弟在产业背景和公司管理方面能力突出，我们在创业早期收到的两笔外部个人天使资金皆来自于他的人脉资源和沟通能力，让我们顺利地搭建起杭州研发中心和湖南生产基地。弟弟在知人善任、调动员工工作积极性方面很有自己的特点。

创业维艰，九死一生。作为创业团队，我认为姐弟是稳定、科学的组合之一。我们作为亲姐弟，来自于同一个家庭，拥有相同的理念和价值观，始终可以坦诚相待。虽然也会有意见分歧，但方向始终一致，因此很快就能达成一致。我们之间不存在所谓的掣肘内耗问题。我个人认为，当领导层之间不存在内耗时，会让整个团队成员和与之深度合作的上下游产业伙伴更安心。

在角色分工上，弟弟作为公司的CEO，搭建起公司的整体架构、把握全局引领方向；不同于弟弟在公司内的更全面的角色，我更偏向于CTO的角色，带领研发团队始终围绕客户的需求，根据半导体领域新材料的发展来研发调配合适的配方，服务好客户。毕竟稳定的产品和市场客户需求才是维系公司框架稳定的源泉动力。

求是缘：孚迪在湖南岳阳设立生产基地，在杭州设立研发中心，如此布局是基于怎样的战略考量？

祁有丽：我们之所以形成了湖南生产基地+杭州研发中心的地域布局也是深思熟虑和双向匹配的结果。

（图为中科孚迪湖南生产基地）

我们选择湖南作为生产基地也是基于几点考量：2017年公司成立时，长三角由于产业结构升级，很难拿到化学品生产的资质和环评手续。但在材料之乡湖南省，我们是以高级人才项目引进的方式落地当地工业园区，湘阴县政府给予了很大支持，解决了企业发展过程中所需的场地、资金、人才、物流、环评等一系列的问题。我们也和湖南当地的高校团队在产学研方面深度合作，同时也就近服务湖南当地的客户，并进一步辐射华南和中南区域的客户。

我们在杭州设立研发中心和销售中心，是因为我们想更接近市场、长三角的高校和产业资源，同时也服务好长三角区域的客户。

（图为中科孚迪杭州研发中心）

求是缘：中科孚迪的目前的湿化学品产品体系包括哪些、覆盖哪些应用场景？未来还会如何拓宽产品应用体系？

祁有丽：我们现在的湿化学品产品分为三大块：晶圆切割液、清洗剂和研磨液等，覆盖光学晶片、衬底材料（蓝宝石）、显示面板等应用领域。

除了硅基，蓝宝石衬底产品，我们也会抓住化合物半导体的产业机遇进行相应的产品布局。

未来，我们一方面要抓住碳化硅晶圆加工的赛道，另一方面希望能围绕既有的客户体系和应用领域再进一步深耕细作。比如跟随光学玻璃、车载镜头、面板等工艺发展而推陈出新，提供新的功能性化学品解决方案，满足客户的工艺需求。

求是缘：作为初创团队，您认为孚迪的特色和优势体现在哪些地方？

祁有丽：作为小的创业团队，我们杭州研发团队的特点是更像一个课题组。既具有浓厚的学习氛围，也具备快速的研发落地能力。同时，我们的团队更善于团结协作。我们的这种强于学习又亲密合作的特色也颇受客户肯定，顺利地进入头部客户的重点项目研发体系，促进项目更快地落地。

无论企业处于哪个发展阶段，凝聚力都是重中之重，也是团队最大的竞争力的根基所在。我们在入职招聘挑选员工也会特别看重员工的个性特质是否和企业文化吻合。创业伊始，我们便启动内部人才培养计划，在培养团队成员能力方面我们不遗余力。我们通过项目来培养团队成员，鼓励成员在客户对接、需求调研、方案搭建、生产、市场流通等方面全程统筹负责，让团队成员在项目中得到历练并找到成就感。项目最终圆满落地后，对员工的物质奖励自然也随之而来。而我的角色更像是“扶上马”，从旁观察并协助。

随着团队成长，我们也逐步围绕奖励机制、管理制度来进一步规范管理、因才适用。未来我们按照不同的产品方向来进行团队分工，通过“项目负责制”的方式来进一步提升研发和产品落地效率。

除了在研发团队搭建方面的探索，继续夯实我们的研发和项目落地实力。未来，我们还会在市场拓展方面持续突破。

求是缘：作为求是缘半导体联盟创业会员单位，您如何看待会员与联盟之间的关系？您认为联盟应该在哪些方面继续提升，更好地服务产业会员？

祁有丽：我第一次参加联盟活动时是源于浙大老师的邀请，在杭州浙大海创园举办的一场小型半导体医疗沙龙活动。被邀请的演进嘉宾和参会成员几乎都是来自产业界，嘉宾们的坦诚专业和筹备志愿者团队无私奉献精神让我印象深刻。

这次2023年的联盟大会在浙大海宁校区举办，几百人的大规模产业峰会，深度的产业内容吸引众多产业大咖和一线从业人员前来赴会，让我们创业团队也借此机会收获了人脉和产业资源。

产业的发展离不开一群务实的工程师，无论是机械行业还是半导体行业，我们都要推崇务实的工程师文化，让真正有能力且能解决实际应用问题的工程师们走入大众的视野。我建议我们求是缘半导体联盟也可以通过一系列的安排，如宣传、活动嘉宾设置等方面，在产业内弘扬实事求是的务实工程师文化。

同时，我们也希望联盟能借助自身的产业资源优势，多筹办有深度的产业论坛或沙龙活动，多带动企业会员之间的互访互助，为上下游的产业会员之间搭建高效的沟通桥梁。

采访者后记

市场是检验真理的唯一标准。同样，市场也是检验团队能力的一把尺子。市场从不唯创业团队的背景和学历，只看其产品能否解决实际问题，性价比高不高。市场也是对团队创业方向修正和能力完善的外部动力。创业团队好不好，市场口碑就是最好的试金石。在复杂内卷的半导体产业环境，唯有始终紧跟市场需求并真正解决客户需求的团队方能长久立于不败之地。

（图为孚迪研发团队与采访者志愿者合影）

采访人：刘红

摄影：朱爱林

编辑：马丹凤

审核：常亮、徐若松

感谢联盟杭州联络处朱科洁参与采访

感谢中科孚迪团队对采访提供的协助

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