ASML第一台5nm多光束检测器实现了怎样的突破？

在制造厂中，开发、设计和构建一条新的生产线时，计量是很重要的一个环节：分析制造过程中的步骤以确定生产如期进行。计量使制造厂能辨别出机器是否能正常工作，也可以帮助描述最终产品的特性，关于合适的电压/频率等。如果晶圆特别差，则可以将其早点丢出这个循环，从而节省时间和资金。

和制造过程中其他步骤一样，计量在工厂中很占时间和空间。为了实现将更好的光刻机移动到EUV这个目标，使其既能有更小的特征，又能加快每个芯片的制造，计量要做的两个主要任务就是准确的报告和吞吐量。这些机器吞吐量增加意味着给定运行所需机器变少，而且过程节点步骤之间的延迟可以缩短。

ASML宣布其在多光束检测工具系列上已取得重大突破。新的eScan1000将单光束扫描进程优化成9光束扫描进程，ASML宣称在线缺陷检测应用中，能使工具吞吐量提高600%。该工具适用于目前生产的所有主要进程节点，包括5nm及更高工艺。

公司解释道，新的eScan100工具拥有一个电子光学系统，能将初始光束分成许多细光束，同时收集并处理这些次级光束带来的结果。这个工具还能将串扰限制在2%以下以保证成像质量，并用高速模式增加整体吞吐量，而且新的电脑硬件加速处理次级光束数据比以前更快。它还能用于一系列波束电流，既能进行物理缺陷检查也能进行电压差别检查。ASML宣传的是它拥有一个缺陷检测能力突出的专有数据库，能检测出许多传统计量方法遗漏的缺陷。

据新闻报道，ASML在一周前已将首款eScan1000系统交给硅谷的一位特定客户，在客户现场进行初步测试和认证。但并没有透露客户是谁。

ASML期望扩大eScan1000机器的应用范围以满足特定客户的要求，并表示会继续开发能分更多光束和更广光线分辨率的多光束技术。得知这个工具的重要性之后，我们有希望在今年晚些时候看到未来行业活动的产品路线图。

原文链接：https://www.anandtech.com/show/15822/asml-first-multibeam-inspection-tool-for-5nm