插播：12月13-14日，智程半导体、汇川联合动力、意法半导体、罗姆、安世半导体、英飞凌、安森美、三菱电机、三安半导体、中科院物理所、烁科晶体、科友半导体、普兴电子、百识电子、基本半导体、芯联动力、华灿光电、飞锃半导体、power integrations、南方半导体、爱发科、大族半导体、Qorvo以及北方华创等企业，将出席【行家说三代半年会】，带来近30场主题演讲，报名请点文末“阅读原文”。
国产碳化硅上车是万众期待的大事，而车规市场对碳化硅晶圆的表面清洁度要求很高，因为表面污染物会极大影响碳化硅功率器件的性能、可靠性和成品率。
目前，碳化硅晶圆的表面清洗法有等离子清洗、氢处理清洗、化学清洗等，等离子清洗易导致表面，甚至亚表面损伤，影响器件的使用寿命和稳定性；氢处理清洗需要特殊的实验设备，能量损耗大；目前，湿法清洗在碳化硅晶圆表面净化中处于主导地位。
随着碳化硅器件技术的发展，器件厚度越来越薄。由于薄片晶圆面临翘曲度高、易碎裂等难点，薄片湿法工艺具有较高难度。但最近，智程半导体在碳化硅湿法清洗领域实现技术突破。
据了解，智程半导体推出了针对碳化硅薄片晶圆背面腐蚀清洗工艺的专用设备，基于无接触晶圆清洗技术、INDUCO3技术和Rota-goni技术等，提供碳化硅正面无损伤、背面清洗高洁净的国产解决方案。而面向碳化硅8英寸槽式清洗，智程推出了碳化硅cassetteless槽式清洗方案。
究竟国产碳化硅清洗设备的发展现状如何？智程的设备还能为碳化硅领域带来哪些帮助？
12月13-14日，智程半导体已确认参加在深圳举行的行家说三代半年会“2023碳化硅&氮化镓产业高峰论坛暨极光奖颁奖典礼”。届时，智程半导体副总经理华斌博士将出席本次会议，并带来演讲《国产清洗设备在碳化硅制造领域的应用方案》。
嘉宾介绍
华斌，京都大学博士。十年以上半导体行业研发和管理经验。获得江苏省“六大人才高峰”高层次人才、江苏省“333高层次人才培养工程”、姑苏重点产业紧缺人才等荣誉。获江苏省科学技术奖三等奖、中国商业联合会科学技术奖一等奖等各类省部级奖项5项。申请各类发明专利50多件，在国际知名学术刊物上发表论文30多篇。
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大会介绍
本届年会将设置2场技术论坛、2天专场展览及1场颁奖盛典等，预计2天活动将有近1000名来自应用终端企业、碳化硅和氮化镓主供应链企业、关键耗材和设备企业的专业人士出席，共同探讨行业未来发展趋势。
除智程半导体外，烁科晶体、百识电子、汇川联合动力、中科院物理所、三安、普兴电子、科友半导体、三菱电机、安森美、爱发科、英飞凌、华灿光电、安世半导体、罗姆、意法半导体、Qorvo、Power Integrations、基本半导体、飞锃半导体、北方华创、昕感科技、大族半导体、京东方华灿光电、芯联动力科技及南方半导体等企业也将带来重磅演讲。
与此同时，合盛新材、智程半导体、意法半导体、烁科晶体、百识电子、快克芯装备、飞锃半导体、科友半导体、天成半导体、科百特、润新微电子、希盟科技、岱美仪器、千叶净化、惠特科技、国顺硅源、惠丰钻石、厚德钻石、诚联恺达、长联半导体、创锐光谱、才道精密、北方华创、集芯先进、致领半导体及高泰新材料等众多企业将展示最新技术和产品方案。
