据麦姆斯咨询报道，2023年11月24日至26日，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员许鹏程将参加《第56期“见微知著”培训课程：气体传感器》并进行授课，具体信息如下：
授课主题：基于MEMS的单晶硅热电堆氢气传感器
授课老师简介：
许鹏程，博士，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员，主要从事基于MEMS技术的气体传感器相关研究，开创了变温谐振微悬臂梁在高端仪器装备的交叉研究新方向并建立国家标准1项。他研制的多款MEMS气体传感器获企业推广应用。在Nano Lett.、Anal. Chem.、Small、Sensors & Actuators B、Biosensors & Bioelectronics等期刊上发表一百余篇SCI检索论文。在传感技术顶级国际会议IEEE MEMS和Transducers等发表论文50余篇。获授权专利20余项。主持国家重点研发计划课题1项、国家自然科学基金2项、中科院科研仪器项目1项，是973项目、国家自然科学基金重点项目、国家重大仪器研制项目等多项国家级重大项目的核心研究骨干。他入选中国科学院首批特聘研究岗位和中科院青年创新促进会（青促会），担任IEEE NEMS 2023国际会议的Program co-Chair、Transducers国际会议的TPC委员、中国电子学会气湿敏传感技术专委会委员和中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事等。
授课背景及内容：
氢气（H2）对于追求低碳化、环保、可持续的全球能源系统方面具有重要的战略意义。然而，由于氢气具有易爆性，需要监测其泄漏情况，以确保在工业应用的安全性。因此，开发具有高灵敏度、快速响应和宽浓度范围的氢气传感器至关重要，但在技术上仍具挑战性。热电式氢气传感器是通过测量氢气氧化所产生的热量来检测氢气，因此影响检测极限的主要因素是催化效率以及传感结构对热致温度变化的灵敏度。而在热电堆感温元件方面，现有研究大多采用多晶硅热电偶。为了将热电式氢气传感器的检测极限达到1 ppm，有必要将多晶硅热电材料替换为单晶硅等具有更高塞贝克系数的新材料。本课程重点讲解基于MEMS技术开发的一种高灵敏度的差分热电堆氢气传感器，涵盖设计、制造及测试等关键技术。
课程提纲：
1. 氢气传感器概述；
2. 基于MEMS的单晶硅热电堆氢气传感器设计；
3. 基于MEMS的单晶硅热电堆氢气传感器制造；
4. 基于MEMS的单晶硅热电堆氢气传感器测试；
5. 氢气传感器总结与展望。
培训详情：
https://www.memstraining.com/training-56.html
