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根据美国《旧金山纪事报》(San Francisco Chronicle)发出的讣告,半导体界大师级教授施敏(Simon Sze),在美国当地时间 6 日安祥离世,享年 87 岁。
据悉,施敏系中国工程院外籍院士、美国国家工程院院士。
中国工程院官方网站上对施敏的成就介绍中写道:在半导体设备,尤其是半导体接触,微波器件和金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)技术的研发中,施敏博士的贡献具有奠基性和开创性的意义。
尤其是他参与研发的非易失性半导体存储器(NVSM),影响深远,随之诞生了包括闪速储存器和电可擦只读储存器(EEPROM)在内的大量储存设备。NVSM的问世,促成了功能更为强大的信息储存技术的发展,它们应用广泛,人类受益无穷。
根据《旧金山纪事报》发布的讣告信息,施敏于1936年3月21日出生于上海 ,他的早年生活充满求知欲和对科学的热情。
施敏,1936年3月21日出生于江苏省南京市。1957 年毕业于台湾大学电机工程系,之后至美国留学,1960 年在华盛顿大学取得硕士学位。施敏也与张忠谋师出同门,和不久前过世的华泰电子创办人杜俊元一样,三人指导教授皆为John Moll。
施敏和张忠谋同为美国斯坦福大学电机博士,1963年毕业后正直美国半导体公司快速扩张,贝尔实验室、通用电子、西屋电子、惠普、IBM、RCA等都为施敏开出了很高的薪资(12000-14400美元之间),给出的工作岗位分别是:通用电子的功率半导体部门、贝尔实验室的半导体部门、IBM的显示部门。
施敏听从John Moll教授的忠告,选择进入美国知名研发重镇贝尔实验室(Bell Labs)工作,直到 1989 年退休。从1963年到1972年,施敏每年发表的论文超过10篇。
1967 年,施敏和韩裔同事姜大元(Dawon Kahng) 休息吃甜点时,用了一层又一层的涂酱,触动了二人的灵感,想到在金属氧化物半导体场效电晶体(MOSFET)中间加入一层金属层。后来两人发明了世界上第一个浮栅非挥发MOS场效应记忆晶体管(Non-Volatile Semiconductor Memory,NVSM),论文发布在《贝尔系统科技期刊》(The Bell System Technical Journal)上。
这项技术使得晶体管的栅极由上而下分别为金属层、氧化层、金属浮栅层、一层较薄的氧化层,以及最下面的半导体,而中间的金属层因为上、下都是绝缘的氧化层,在施加电压时,可以将电子吸进去保存,改变电路的导通性,而这层金属的上、下都是绝缘体,如果不再度施加反向电压的话,电荷会一直保存在里面,断电后资料也不会消失。
这也是现今闪存(NAND Flash)技术的基础,虽然在1967年提出该技术时,在业界没有掀起太大涟漪,但好技术终究不寂寞,30年后闪存成了各项消费电子产品所使用的关键零件之一,是半导体技术的重大突破之一。
有了轻巧省电的“非挥发性内存”后,结合了“电话”、“微波通信”及“晶体管”这4大发明,促成了1979年手机的诞生。如今更被广泛应用在汽车、商务、医疗、自动控制及各种大大小小的智能家电产品上。
施敏在微电子科学技术著作方面举世闻名,他所著的《半导体元件物理学》(Physics of Semiconductor Devices) 是目前全世界所有工程及应用科学领域最畅销的书之一,曾被翻译成六种语言,销售超过100万册,被引用次数达两万多次,有“半导体界的圣经”之称。
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