2023年10月23日,北京赛微电子股份有限公司(以下简称“赛微电子”或“公司”)控股子公司赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司(以下简称“赛莱克斯北京”)代工制造的某款MEMS加速度计通过了客户验证, 赛莱克斯北京收到该客户发出的采购订单,启动首批MEMS加速度计8英寸晶圆的小批量试生产。
MEMS加速度计是一种基于MEMS技术的惯性传感器,具有体积小、重量轻、能耗低及高精度等特点,常用于测量物体的线性加速度和运动状态。作为MEMS惯性传感器的细分产品,MEMS加速度计可被广泛应用于汽车、 无人机、 机器人、消费电子终端等各类测量、导航、动作识别、状态记录等应用场景。赛微电子全资子公司瑞典Silex在MEMS惯性传感器方面已拥有丰富业务经验。
近年来,赛莱克斯北京持续加大研发投入,自主积累基础工艺,积极探索各类MEMS器件的生产诀窍,努力为全球通信、生物医疗、工业汽车、消费电子等各领域客户,尤其是中国本土客户提供优质的MEMS工艺开发及晶圆制造服务,积极推动公司在本土形成和提升自主可控的MEMS生产制造能力,加速国产替代。
根据产业发展规律及公司境内外产线的实际运营经验,不同类别MEMS芯片一般都需要经历从工艺开发到风险试产、规模量产的过程,所耗时间存在差异。