三星显示引入ALD新工艺，LTPOOLED性能将飙升

三星显示将为加强未来OLED技术能力做准备。据悉，为了适用比以往更精密的性能沉积工艺，主要合作公司AP系统的新ALD（原子层沉积）设备将很快运进。

据业界透露，三星Display计划最早从今年第四季度开始引进用于工程评价的最新ALD设备。

ALD是以原子水平（0.1纳米）的厚度多层沉积薄膜的技术。与现有的沉积方式CVD（化学气相沉积）相比，生产速度有所下降，但适用于微细化工艺要容易得多。得益于此，在尖端半导体领域已经得到了广泛的应用。

三星Display为了将ALD设备用于OLED面板的制造，决定在天安的A1线上引进设备。A1线是生产4.5代（玻璃原板尺寸）OLED的地方。属于较旧的生产线，开工率不高，被评价为适合测试新工艺。

ALD设备供应由三星显示的主要合作公司AP系统负责。据悉，目前正在忙于准备在A1线上安装相关设备。业界预测最早将在明年上半年内完成安装。

三星显示器想要引入AP系统的ALD设备的原因是为了提高LTPO OLED面板的性能。

显示面板需要一个具有开关角色的半导体设备，以调节像素的亮度，称为TFT。根据材料和物理特性，将TFT分为基于LTPS和LTPO。

现有的显示器行业一直利用LTPS TFT，但一直以智能手机等移动设备为中心推进LTPO的转换。三星Display的主要客户苹果也在iPhone及iPad上增加LTPO OLED的比重。

因为LTPO的泄漏电流量比LTPS少。此外，不需要LTPS中使用的激光设备，因此它可以降低生产成本，并且有利于面板的扩大。

不过，LTPO与LTPS相比电子移动度较低，在实现高刷新率（屏幕切换速度）和分辨率方面存在困难。此时，利用ALD设备可以实现比现有CVD更精密的沉积，从而提高LTPO TFT的电气特性和可靠性。

如果通过ALD成功完成Oxide TFT工程评估，三星Display有望将其正式应用于苹果等主要客户公司的OLED面板。AP系统也通过韩国国策课题正在开发8.6代ALD设备。8.6代OLED是三星Display为苹果提供高端IT用OLED面板而在业界首次投资的新一代显示器制造工艺。

来源：Wit OLED编译