专注纳米压印技术，璞璘科技获得数千万天使轮投资

纳米压印技术出现于1995年，当时DUV光刻遭遇100nm分辨率的技术瓶颈，为突破这一瓶颈，美国工程院院士、华裔科学家周郁(Stephen Y. Chou)教授首次提出了基于高分子模压工艺的全新超高分辨率（<10nm）的纳米结构制造技术——纳米压印技术。

璞璘科技成立于2017年，主要生产和研发纳米压印设备及材料。公司创始人、首席科学家葛海雄教授，师从纳米压印技术发明人—周郁院士，从事纳米压印技术的研究工作超过二十多年，发展了旋胶涂膜紫外光固化纳米压印工艺与材料体系。

与光刻技术相比，纳米压印具备工艺相对简单、低成本、超高分辨率、3D复杂纳米结构制造、功能性材料直接成型、无需显影等技术优势。

纳米压印仍处于不断发展中，近几年，日本佳能集团发展了可量产集成电路芯片的步进纳米压印技术，已经成功将纳米压印技术成功应用在15nm制程的3D NAND储存芯片，并由其子公司“铠侠科技”完成相关产品的研发与中试。此外，SK海力士计划从佳能引进纳米压印设备，在2025年左右使用该设备开始量产3D NAND闪存。

芯片制造及未来的量子芯片会是纳米压印的核心应用场景。除此之外，纳米压印技术还可以用于微纳结构光学、AR/VR、蓝宝石图案化衬底、生物芯片、超透镜、光子芯片等领域。

璞璘科技的技术团队形成了完整的纳米压印技术体系，且与合作伙伴实现了8nm周期、4nm线宽的超高分辨率压印，这证明纳米压印技术的分辨率可以胜任未来集成电路制造中对更小线宽的需求。

璞璘科技自主研发了纳米压印核心技术，希望推进纳米压印技术的产业化应用，可以针对不同应用领域、场景与需求，璞璘科技可为用户提供量身定制的高针对性纳米压印产品与技术服务。据创始人兼CEO邓萌萌介绍，璞璘科技是目前国内市场唯一能集纳米压印设备、材料，工艺为一体的纳米压印高端微纳制造供应商。

纳米压印闭环解决方案

在设备方面，公司有针对不同场景的纳米压印设备，科研桌面型，半自动研发型，全自动量产型、以及压印配套设备。

晶圆半导体纳米压印系统

在材料上，公司拥有完整的纳米压印胶体系，包括半导体刻蚀材料、光学应用材料、结构传递材料、表面处理材料、模具复制材料等近三十多种纳米压印相关材料；

全系纳米压印材料

工艺上，除传统的热压印和紫外光固化压印工艺外，璞璘还拥有复合高分子模板复制技术、无残余层纳米压印技术、曲面纳米压印技术、双转移层纳米压印技术、双腔室纳米压印技术等多项自主研发的核心纳米压印工艺。

无残余层纳米压印技术

璞璘科技相关业务板块已经与国内众多国内半导体、光学、显示、AR/VR等行业头部企业合作，提供相关的技术解决方案。此外，璞璘研发团队正在积极将璞璘科技特色的纳米压印技术导入半导体制造，LED芯片、光学芯片等高端制造行业。

纳米压印技术在全球仍处于一个朝着量产做尝试的阶段，如设备的良率、压印均匀性等问题尚未得到有效解决。

璞璘科技创始人&首席科学家葛海雄教授指出，目前业内对纳米压印技术的了解并不充分，部分海外纳米压印技术企业更多是在产业化应用上进度较快，从技术本身的上并非选择了最佳技术路线，一些关键技术存在先天的缺陷。国内企业若仅从快速产业化应用的角度模仿，很可能导致纳米压印技术的应用误入歧途，且即使在研发过程中已经发现众多的工艺难点问题，也缺乏专业的解决能力。

在葛海雄教授看来，纳米压印技术需要上游的技术供应端、下游的应用端共同不断积累、打磨，合作，最终发展出成熟的纳米压印产业链，没有弯道超车。

目前，璞璘科技的技术研发团队中有纳米压印技术行业经验的博士超过10人，技术人员来自美国普林顿大学、南京大学、中国科学技术大学、北京大学等，在纳米压印设备制造、材料工艺开发、产业应用等方面具有丰富行业经验；同时，团队正在加速扩充，引入包括半导体机械研发、设计，电气软件、设备制造、化工生产等行业精英。目前公司团队规模20余人，研发及工程相关技术人员占比超90%。

投资人说：

峰瑞资本副总裁颜黔杭：“纳米压印作为基于物理成型方法实现纳米尺度图案转移的微纳加工技术，自1995年被发明以来，学界与业界一直尝试将其应用在IC领域和其他微纳加工领域，并实现规模化落地。近年来，纳米压印在微纳光学器件及生物芯片中的规模化应用，为这项前沿技术的快速市场化打下了基础。而在海外，佳能在纳米压印方向持之以恒的研发投入，实现了其在闪存芯片工业化生产中的应用，替代了传统光刻工艺，展现了纳米压印在IC领域作为光刻技术备选方案的广阔前景。璞璘科技的核心创始团队不仅具备国内乃至世界顶级的纳米压印技术认知，并拥有设备、胶材、工艺一体化的全流程研发量产能力。峰瑞一直看好微观尺度下观测、加工、控制技术的前沿发展与应用落地，我们相信璞璘能够在核心团队的不懈坚持下，将更高质量、更高效率、更低成本的纳米压印规模化量产解决方案带给行业。”