面向高频医用超声成像的PMUT设计与性能仿真

原创 MEMS 2023-10-11 00:01

据麦姆斯咨询报道,2023年10月13日至15日,上海师范大学副教授张巧珍将参加《第55期“见微知著”培训课程:微机械超声换能器(MUT)》并进行授课,具体信息如下:

授课主题:面向高频医用超声成像的PMUT设计与性能仿真

授课老师简介:

张巧珍,博士,上海师范大学信息与机电工程学院副教授。2018年毕业于上海交通大学仪器科学与技术专业,获工学博士学位;2015年~2016年赴日本国立千叶大学工学院进行博士联合培养;2018年入职上海师范大学信息与机电工程学院至今。她的主要研究方向为:通信系统与射频前端集成关键器件设计,包括射频谐振器、滤波器、天线等;微机电系统(MEMS)传感与执行器件,例如微机械超声换能器、柔性可穿戴传感器等;MEMS器件及其交叉领域,例如生物医学超声学、压电微声学器件。她主持和参与国家自然基金青年科学基金项目、面上项目、高等学校博士学科点专项科研基金项目等,在压电声波器件领域SCI期刊UltrasonicsJournal of Applied PhysicsJournal of Microelectromechanical SystemsSmart Materials and Structures等发表论文20余篇,申请发明专利6项。

授课背景及内容:

压电式微机械超声换能器(PMUT)结构主要为微加工的压电复合多层振动膜,超声波的发射和接收通过振膜的弯曲振动来实现,因易与水和空气声阻抗匹配、集成度高,受到广泛关注。PMUT振元的典型结构是圆形和方形,常用的薄膜压电材料有AIN、PZT和ZnO。而PMN-PT是一种新型复合钙钛矿型弛豫铁电材料,具有比PZT更高的压电常数和机电耦合系数,并且介电损耗因子仅为PZT的1/3。对PMUT而言,发射电压响应和接收灵敏度是影响其成像质量的关键因素。另外,缩小振元尺寸也是提高PMUT阵列集成度和成像能力的必然要求。本课程根据医用超声成像需求而设计PMUT器件,并进行多物理场耦合建模、性能调控与优化设计,最后进行技术总结与展望。

授课提纲:
1. 微机械超声换能器发展趋势及医用需求;
2. PMUT多物理场耦合建模;
3. PMN-PT单晶薄膜PMUT的性能调控与优化设计;
4. ScAlN晶体薄膜PMUT的性能调控与优化设计;
5. 面向高频医用超声成像应用的PMUT技术总结与展望。

培训详情:
https://www.memstraining.com/training-55.html

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