微机械超声换能器(CMUT和PMUT)关键技术与典型应用

原创 MEMS 2023-09-19 00:02

据麦姆斯咨询报道,2023年10月13日至15日,西安交通大学副教授李支康将参加《第55期“见微知著”培训课程:微机械超声换能器(MUT)》并进行授课,具体信息如下:

授课主题:微机械超声换能器(CMUT和PMUT)关键技术与典型应用

授课老师简介:

李支康,博士,西安交通大学副教授、博士生导师,陕西省青年科技新星,西安交通大学医工交叉十大创新人才,仪器科学与技术学院智能传感与系统研究所副所长。西安交通大学机械工程专业博士(蒋庄德院士)、加州大学伯克利分校机械工程系联合培养博士(Liwei Lin教授)、加州大学洛杉矶分校生物工程系交流博士后(Ali Khademhosseini教授)。他的主要研究方向包括微纳制造与微纳传感技术、微机械超声换能器(CMUT和PMUT)、柔性电子及柔性可穿戴传感器、智能传感与人机交互技术,主要面向健康监测、个性化医疗、智能机器人、人工智能等领域的应用。他在Advanced Functional MaterialsMatterIEEE Transactions on Industrial ElectronicsMicrosystem & Nanoengineering (Nature Publishing Group)Composite StructuresIEEE Electron Devices LettersIEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems等期刊上发表SCI论文40篇;撰写英文书籍章节2章;申请中国/美国发明专利50项,获授权发明专利40项。他主持国家重点研发计划课题、国家自然科学基金青年/面上项目、省揭榜挂帅重大专项课题等项目共12项;参与国家重点、重大项目共3项;获得中国仪器仪表学会优秀博士论文提名奖、中航工业集团科技进步二等奖等多项奖励。

授课背景及内容:

微机械超声换能器(MUT)是指采用MEMS技术制作的超声换能器,根据工作原理主要分为两大类:电容式微机械超声换能器(CMUT)和压电式微机械超声换能器(PMUT),PMUT和CMUT在性能和应用方面各有所长、并行发展。与传统的块体型超声换能器相比,微机械超声换能器具有体积小、成本低、功耗低、频率控制灵活、易于与电路集成和实现智能化等特点。随着MEMS设计和微加工技术的提升以及产业链的完善,微机械超声换能器成为替代传统超声换能器的很有前途的选择之一。本课程讲授微机械超声换能器核心技术(建模仿真、结构设计、制备技术)及典型应用,最后分析当前的发展瓶颈,并进行总结与展望。

授课提纲:

1. 微机械超声换能器机电声多场耦合机理建模与分析方法;

2. 微机械超声换能器结构设计与优化技术;

3. CMOS兼容的微机械超声换能器制备技术;

4. 微机械超声换能器典型应用:流量、气泡、应力检测及可穿戴血压监测等;

5. 微机械超声换能器发展瓶颈、新兴应用与未来展望。

培训详情:
https://www.memstraining.com/training-55.html

延伸阅读:
《微机械超声换能器专利态势分析-2023版》

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