随着光通信、投影成像和光学扫描等应用领域的迅猛增长,用户对基于MEMS工艺的微振镜需求日益增加,对能够提供更强能量的微振镜也越来越迫切。为满足这些需求,知芯推出了下一代微振镜产品——S50 MEMS 微振镜:镜面更大、角度更广、功耗更低!现全文转载。
知芯传感,公众号:知芯传感知芯产品推介:S50 MEMS 微振镜
随着光通信、投影成像和光学扫描等应用领域的迅猛增长,用户对基于MEMS工艺的微振镜需求日益增加,对能够提供更强能量的微振镜也越来越迫切。为了满足这些需求,知芯传感推出了最新开发的微振镜产品——S50 MEMS 微振镜。
知芯S50 MEMS 微振镜是一款静电式单轴MEMS微振镜,有效镜面高达5x4mm,相较于市面上类似产品可以提供能量更强的反射光,有效满足用户日益提高的性能需求。芯片工作在谐振状态,具有镜面大、角度广、功耗低、体积小、可靠性强、重复度好等特点。表面镀金或铝,对可见光与红外光有较高的反射率。可广泛应用于光通信、激光成像、激光雷达和结构光三维测量等领域。
镜面大
角度广
功耗低
体积小
可靠性强
重复度好
静电驱动
一维扭转
性能参数 | 数值 | 备注 |
镜面尺寸 |
5x4 mm |
可咨询其他尺寸 |
微镜谐振频率 |
f≈1200 Hz |
部分规格会不同 |
驱动频率 |
2f |
|
微镜驱动电压 |
参照驱动模块 |
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光学扫描角度 |
大于50° |
|
存储温度 |
-40~85 ℃ |
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工作温度 |
0~60 ℃ |
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工作环境 |
无尘、防静电 |
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封装方式 |
裸片、简易封装 |
可定制 |
激光雷达:作为激光雷达的核心部件之一,MEMS微振镜可以将探测用红外激光扫描到整个车辆行驶前方,以同轴收发方式,采集激光往返的时间差来探测前方空间物体,实现汽车的智能化行驶。具有过规难度小、成本低、技术方案简单等优势。
结构光三维测量:配合MEMS微振镜的扫描运动,控制线、点激光的开断,形成不同宽度的光线条纹,相机采集该条纹后可对被测工件进行形貌恢复、三维重构。广泛应用在机器人3D 视觉感知、焊接等工业机器人、医美整容、人脸识别及安防、3D打印等领域。具有功耗低、尺寸小、成本低等优势。
● MEMS微镜
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● MEMS传感
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