盛镭科技：让中国智造超快激光器服务于全世界微纳加工领域

MEMS 2023-07-16 00:03

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1966 年，De Maria 基于钕玻璃( Nd:glass) 激光器利用被动锁模技术成功获得了世界上第一次皮秒量级的激光脉冲输出，从此开辟了超短脉冲激光器研究和应用的新天地。因具有极窄的脉冲宽度、极高的峰值功率以及“冷加工”等特性，超快激光器被广泛应用于消费电子、显示面板、PCB、生物医疗、航空航天、科学研究等行业。

近些年来，随着不少玩家入局，超快产业链日趋完善，市场发展迅速。据2022年中国激光产业发展报告显示，2021年我国超快激光器市场规模达到32亿元，其中国产激光器已占到总销量的55%。

作为超快激光器相关产品的专业生产商，北京盛镭科技有限公司（以下简称盛镭科技）秉承“让中国智造超快激光器服务于全世界微纳加工领域”的使命，以成为国内超快激光领域数一数二的知名企业为愿景，通过人才引入和创新开发，依托自主技术形成了皮秒、飞秒等二十余种规格型号的系列产品体系。

以技术立足，赶超国际

一

上海慕尼黑光博会开展首日，盛镭科技黄玉涛博士在现场揭开了100W工业紫外皮秒激光器的神秘面纱，向参展观众展示了盛镭科技超快激光器研发的最新技术成果。

该款紫外皮秒激光器最大输出功率超过130 W，单脉冲能量大于40 μJ，脉冲宽度小于8 ps，光束质量M²<1.15，同时还能保持优异的产品寿命——种子寿命大于20000小时，紫外倍频模块寿命大于10000小时。黄玉涛博士介绍，作为国内外首款百瓦量级工业紫外皮秒激光器，该产品主要应用于碳纤维材料切割、钻孔、晶圆切片、铜材料精密加工等硬度高、高效率的特殊加工。

盛镭科技现有人员100余人，拥有20余名相关领域科技人员，核心研发人员10名以上，其中6名博士，4名硕士，核心技术团队在业内均有长达十年以上的积累。自成立以来，盛镭科技不断进行技术研发，公司快速完成了核心技术开发和生产布局，累计申请知识产权近30项，其中发明专利申请13项（7项超快激光核心技术已经获得授权）。

“种子源技术和高功率固体放大技术是我们的特殊技术优势，”黄玉涛博士表示，“种子源技术能够使我们在输出100nJ左右的脉冲能量时，还能保持近傅里叶变换特性，既能实现<10 ps窄脉宽输出，又能使光纤种子源与固体放大器增益谱线匹配，实现固体放大器高效率输出。”

除本次首发的百瓦量级工业紫外皮秒激光器外，黄玉涛博士还为我们展示了盛镭科技研发的其他明星产品。在动力电池极片切割领域，盛镭科技研发的500W红外皮秒激光器达到国际水平，在德国慕尼黑展出时吸引了国内外同行的关注，并且成为国内首家在动力电池产线上试运行的厂家。

稳扎稳打，寻找更多市场

二

目前，盛镭科技的业务主要聚焦在消费电子、玻璃切割和动力电池等领域。在厚玻璃切割方面，盛镭科技达成了一刀切19mm的行业记录。

“我们的业务主要聚焦于这几大领域，但在其他领域也有涉及。”黄玉涛博士提到，在航空发动机叶片气膜孔加工方面，盛镭科技已经完成对客户的批量供货，实现了对国外某厂家产品的国产替代。

从2018年交付首台激光器，到2022年底累计出货1000台，五年以来，盛镭科技的每一步都稳扎稳打。发展至今，盛镭科技自建1500余平方米的千级洁净生产间，具备年产各类激光器1000台(套)的能力，拥有研发生产设备共240余套，光学相关设备150余套，包括4D干涉仪、光束质量分析仪等。

在竞争激烈的激光行业，超快激光器市场也同样“卷”得厉害。LaserFocus World数据测算，2022年全球超快激光器市场规模将达到166亿元，国内超快激光器市场规模将超过83亿元，过去3年复合年化增长率高达50%。

“行业要发展，就要寻找更多赛道，赛道多了，大家就不会挤在一起跑。”对于超快激光器行业的发展现状，黄玉涛博士表示，盛镭科技在聚焦目前业务市场的情况下，也会不断坚持拓展新的市场。“只要客户有需求，我们就做！”

脚踏实地，仰望星空

三

从发布国内首款200W工业绿光皮秒激光器，到500W红外皮秒激光器，再到今天的国内首款百瓦量级紫外皮秒激光器，盛镭科技不断经历革新和迭代，一直走在技术升级的路上。2020年7月，盛镭科技凭借持续的创新能力，专业的研发团队以及规范的企业管理能力，获得国家级高新技术企业认定；2021年，盛镭科技被授予北京市“专精特新”中小企业。

谈到未来的技术发展方向，黄玉涛用“更高、更快、更强”六个字总结——更高的输出功率、更窄的脉冲宽度、更强的峰值功率。

他表示，在工业微纳加工制造领域，相比于一些传统的加工方式，在激光技术前沿的超快激光快速、精细的优势尤为突出。飞秒激光加工更是能够满足高精度三维结构制备、多材料微纳结构加工以及器件成型与集成的加工需求，因此在各类微纳结构化功能部件的研制中展现出了很大的技术优势。

未来，盛镭科技将联合下游设备厂商继续对超快激光与材料作用机理进行更加深入的研究，对加工工艺与加工参数进行不断探索和优化，不断开拓超快激光加工应用新领域，让中国智造超快激光器服务于全世界微纳加工领域。

延伸阅读：
《带间级联激光器和量子级联激光器技术及市场-2021版》
《VCSEL专利态势分析-2022版》
《VCSEL期刊文献检索与分析-2022版》
《传感应用的VCSEL技术及市场-2021版》