据麦姆斯咨询报道，位于美国马萨诸塞州伯灵顿市的Zepsor Technologies（简称：Zepsor）公司近日在“MEMS和传感器技术会议”上展示了其基于红外能量的无源传感新技术。
Zepsor设计并开发了一种无源MEMS传感器，能够检测人体产生的热能，然后在不需要任何供能的情况下激活自身及其他电子设备。实现了零功耗下的“永久在线（always-on）”传感，以及其他电子设备的“事件驱动型”唤醒。
本质上来说，Zepsor构建了一种利用光激活的MEMS开关（继电器）。其传感机制在于检测人体或其他物体产生的热能，这带来的优势是降低功耗、减少电池消耗及更换，甚至可以实现基于能量采集的无源系统。
MEMS光开关工作示意图。该开关能够从特定的红外辐射中获取能量，并在不需要任何供能的情况下实现开/关切换。
其中一项创新在于，Zepsor能够在同一芯片上制造对不同光谱带敏感的多个光激活MEMS开关，并将它们连接在一起形成无源逻辑电路，从而检测并区分光谱特征，同时抑制背景干扰。
Zepsor正在开发一系列零功耗传感器。其技术可用于接近检测、人体检测，以及潜在的手势检测，能够应用于从家庭自动化到个人电子产品，再到安防和消防等广泛的应用。
Zepsor由东北大学（Northeastern University）教授Matteo Rinaldi及跟随他做博士后研究的Zhenyun Qian博士于2021年1月共同创立。合作仍在继续，Rinaldi担任公司的首席执行官，Quan则担任公司的首席技术官。
与此同时，他们开发的技术自2015年以来在东北大学还得到了广泛的孵化支持。DARPA、美国国土安全部以及比尔及梅琳达·盖茨基金会都提供了资金支持。
2017年9月发表在Nature Nanotechnology期刊上的一篇论文（Zero-power infrared digitizers based on plasmonically enhanced micromechanical photoswitches）报道了这一研究突破。
据悉，意法半导体（STMicroelectronics）拥有一种类似的技术，称之为TMOS（不过这并不是零功耗的）。TMOS传感器基于绝缘体上硅（SOI）制造工艺。视场中的红外辐射到达利用MEMS工艺实现热绝缘的晶体管栅极，红外能量改变了MOS晶体管的偏压，从而用于感测物体或人体的温度。
产业化
2023年1月，Zepsor团队获得了DARPA小企业创新研究（SBIR）第二阶段的拨款，金额为180万美元，用于一个为期3年的开发项目。此外，Zepsor还获得了Silicon Catalyst Angels和其他种子轮投资者的额外股权投资。这些投资加上早期的ARPA-E和DHS拨款，Zepsor总共筹集了300万美元。
Rinaldi在一份融资声明中表示：“预计今年会是激动人心的一年，我们将面向接近和存在检测应用，开始送样零功耗红外传感器。”
不过，目前Zepsor尚未透露其商业模式，以及计划在哪里批量生产传感器。
