由瑞士万通黄金赞助的第四届半导体湿电子化学品与电子气体论坛将于4月26日在杭州召开
湿电子化学品与电子气体论坛现向晶圆及面板制造企业开放免费名额
湿电子化学品——化工产品“皇冠上的明珠”
湿电子化学品是电子行业湿法制程的关键材料。湿电子化学品属于电子化学品领域的一个分支，是微电子、光电子湿法工艺制程（主要包括湿法蚀刻、清洗、显影、互联等）中使用的各种液体化工材料。超净高纯试剂是在通用试剂基础上发展起来的纯度最高的试剂，其杂质含量较优级试剂低几个数量级。湿电子化学品是对“电子级试剂”、“超净高纯化学试剂”更为合理准确的表达。国内的超净高纯试剂，在国际上通称为工艺化学品（Process Chemicals），在美国、欧洲和我国台湾地区称为湿化学品（Wet Chemicals），是指主体成分纯度大于99.99%，杂质颗粒粒径低于 0.5µm，金属杂质含量低于 ppm 级的化学试剂，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能和可靠性有十分重要的影响。
湿电子化学品工艺水平和产品质量直接对集成电路制造的成品率、电性能及可靠性构成重要影响，进而影响到终端产品的性能。湿电子化学品主要用于集成电路、显示面板、光伏等领域产品的清洗、蚀刻等工艺环节。
半导体湿电子化学品伴随集成电路的整个制作过程，涉及到多个制造工艺环节。硅片、晶圆制造主要湿法工艺包括：扩散前清洗、蚀刻后清洗、离子注入后清洗、光阻灰化后清洗、成膜前/后清洗、晶背和晶边清洗、湿法蚀刻、CMP后清洗等。封装主要湿法工艺包含：TSV清洗、UBM/RDL清洗、键合清洗等。
受益于集成电路、显示面板、光伏等下游市场的发展，湿电子化学品发展迅速。同时，虽然中国市场空间广阔，但在湿电子化学品的高端产品上，中国企业并不占优。与欧美日等头部企业相比，中国大陆地区的湿电子化学品行业起步较晚，技术水平与世界领先水平还存在一定的差距，从下游市场应用来看，国内较多企业主要集中于光伏、分立器件等低端市场，在高世代线显示面板及集成电路为代表的高端湿电子化学品应用领域，外资企业占据大部分市场份额。
电子气体——电子工业的“血液”
电子气体是集成电路、平板显示、分立器件、光伏、光纤等电子工业生产不可或缺的重要原材料。电子气体种类众多，在半导体制造中，广泛应用作保护气体、载气以及用于外延、扩散、掺杂、刻蚀、CVD、清洗等工艺当中。
在集成电路产业使用的电子气体中可分为大宗气体（常用气体）和特殊气体两类。大宗气体一般以氮气、氧气、氩气、氢气等纯净气体为主，在半导体制造中主要有两种功能，一种是作为反应气体参与到化学反应中，比如氢气，氧气等；另外一种是作为保护气体使用的惰性气体，经常用在高温烘烤或清洗过程，这些气体一般是以惰性气体为主，比如氮气，氩气，氦气等。特殊气体以化合物气体为主，主要是集成电路制造中的反应气体，这些气体主要参与芯片制造中的物质生成过程。据Techcet，在半导体制造中，对于电子大宗气体和电子特种气体的需求分别为27.4%及72.6%。
根据应用途径的不同，用于半导体生产的电子气体大致可以分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、刻蚀气体、CVD用气体和平衡气体等。目前在半导体工业中应用到的电子气体多达100多种，其中常用的超过30种。
电子气体被称为中国电子工业的“粮食”和“血液”，是我国战略性新兴产业发展中必不可少的关键支持材料。然而，我国电子气体产业长期严重依赖进口所导致的产品价格高昂、交期不确定等问题日益突出，且存在限售的风险，严重制约了我国战略新兴产业的健康稳定发展。我国战略性新兴产业要实现从“跟随”走向“引领的”的跨越，电子气体的突破将是重要一环。因此，电子气体国产化是未来行业发展的必然趋势，这给国内专业的气体生产企业带来了巨大的机遇。
晶圆制造是当今工业制造皇冠上的明珠，高纯度湿电子化学品是晶圆制造过程中清洗、光刻、蚀刻等工艺流程的必备材料，也应用于后端的封装测试环节。SEMI预计2022年中国半导体用湿电子化学品市场规模为4.28亿美元，同比增长14.13%。
电子气体是半导体制造、显示制造等产业的主要耗材之一，是中国战略性新兴产业发展中必不可少的关键支持材料。近年来中国本土气体企业如派瑞特气、华特气体、南大光电等的部分产品已经进入国内外先进晶圆厂中。SEMI预计2022年国内电子气体市场规模可达11.13亿美元，同比增长14.15%。
未来三年将是中国半导体制造产业高速发展期，中芯国际、华虹宏力、长江存储、长鑫存储等企业加速扩产，格科微、鼎泰匠芯、华润微等企业布局的多条8/12英寸晶圆生产线也将陆续投产，这将带动国内高于全球湿电子化学品与电子气体的需求增速。半导体电子化学品及气体将迎来空前发展机遇。
此外，清洗与抛光、湿法刻蚀及光刻显影、去胶等步骤需要湿法制程设备。以半导体清洗设备为例，根据亚化咨询预测，2025年全球市场将达近41亿美元，此外，清洗设备的国产化率仅在20%左右。未来国内湿制程设备将迎来广阔机遇。
由瑞士万通黄金赞助的第四届半导体湿电子化学品与电子气体论坛2023将于4月26日在杭州召开。会议由亚化咨询主办，多家国内外龙头企业重点参与。
会议主题
半导体光刻功能性湿化学品及气体
半导体清洗剂的现状及替代品
半导体CMP抛光研磨液
含硅特种气体及其前驱体
半导体用大宗气体市场情况
半导体用干刻、清洗气体
电子级氢氟酸的纯化技术及技术发展
半导体级双氧水、硫酸在先进晶圆厂中的应用
半导体封装用电镀液市场及发展
清洗设备、涂胶显影设备与技术
湿法刻蚀设备的发展与国内技术
湿法制程与湿电子化学品的配套
最新会议日程如下：
会议日程 |
电子级超纯氨与正硅酸乙酯的生产与应用 ——苏州金宏气体股份有限公司（已定） |
PFA热模压精馏塔在湿电子化学品的应用 ——河南聚氟兴新材料科技有限公司（已定） |
湿电子化学品关键指标检测技术解决方案 ——赛默飞世尔科技公司（已定） |
电子级硫酸的生产工艺及应用（题目暂定） ——联仕（昆山）化学材料有限公司（已定） |
离子色谱在高纯试剂检测方面的技术进展介绍 ——Metrohm瑞士万通中国有限公司（已定） |
泛半导体清洗设备介绍（题目暂定） ——北京华林嘉业科技有限公司（已定） |
全球半导体电子化学品需求及行业发展 ——Linx Consulting（已定） |
电子级氨水、双氧水在先进晶圆厂中的应用（题目暂定） ——苏州晶瑞化学股份有限公司（已定） |
TOPCon电池大产能湿法设备的技术及应用 ——苏州晶洲装备科技有限公司（已定） |
国内晶圆厂湿电子化学品需求展望 ——亚化咨询（已定） |
海宁泛半导体产业发展情况报告 ——海宁市经济和信息化局（已定） |
*以上演讲报告列表将随着会议邀请工作进展不断更新，最终版以会场发布为准。
若您有意向参会、赞助及做演讲报告，欢迎联系：
关于亚化咨询
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