第四代的TMR磁传感器温度稳定性好,对温度不敏感,线性度好,灵敏度高,不需要聚磁,因此采用TMR磁传感器的电流传感器具有体积小,温度特性好,精度高,整体成本低的特点,在智能电表计量领域具有非常重要的优势。在气表和热力表上也有同样的TMR磁传感器的应用。
磁信息记录装置除磁带、磁盘等之外,还有磁卡、磁墨水记录帐册、钞票的磁记录等,对磁信息存储和读出传感器有巨大需求。目前,感应磁头,TMR薄膜磁阻磁头,非晶磁头等都获得了大量的使用。随着记录密度的提高,例如高到100G字节,需要更高灵敏度和空间分辨力的磁头。以多层金属薄膜为基础的巨磁阻磁头、用非晶合金丝制作的非晶合金磁头、巨磁阻抗磁头等都被广泛地应用。
目前,在加强行车支持道路系统(AHS)、智能运输系统(ITS)和道路交通信息系统(VICS)等的开发与建设中,高灵敏度、高速响应的微型DMR磁传感器大有用武之地。例如,用分辨率可达1nT的SI传感器,可构成ITS传感器(作高速路上的道路标志,测车轮角度,货车接近距离),汽车通过记录仪(测通行方向、速度、车身长度、车种识别)、停车场成批车辆传感器、加速度传感器(测车辆通过时路桥的振动等)等。
磁传感器在汽车上的应用尤其普遍,例如包括汽车安全、汽车舒适性、汽车节能降耗等。它在汽车中主要被用于车速、倾角、角度、距离、接近、位置等参数检测以及导航、定位等方面的应用,比如车速测量、踏板位置、变速箱位置、电机旋转、助力扭矩测量、曲轴位置、倾角测量、电子导航、防抱死检测、泊车定位、安全气囊与太阳能板中的缺陷检测、座椅位置记忆、改善导航系统的航向分辨率。
MEMS传感器与磁传感器在应用中互相促进,推动磁传感器在消费电子产品应用的逐步增长。虽然磁阻传感器发展历程已经很漫长,技术相对成熟,但仅作为电子罗盘的单独应用,在以前并不被人们很看好,而现在它与MEMS技术的结合,在导航市场成为一个亮点。如果把陀螺仪、加速度和磁传感器三种传感器集成在一起,三者在功能上互相辅助,还能实现9轴组合传感器,则构成了功能更强大的惯性导航产品。
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