随着增强现实（AR）眼镜的应用场景逐渐增多，AR眼镜的佩戴舒适性和功能要求也越来越高。在众多AR光波导方案中，表面浮雕光栅（SRG）可以将镜片做到最轻薄，而且有成熟的量产工艺。表面浮雕光栅的原理是在玻璃片上制作一层纳米级的光栅结构，用来实现所需的光波导效果。如果使用光刻刻蚀或者机加工的方法来加工这些纳米级光栅，成本高，耗时长。纳米压印光刻是唯一可以实现低成本，高效率量产的加工技术。
青岛天仁微纳科技有限责任公司（Germanlitho）是专业的纳米压印光刻设备和解决方案提供商，致力于拓展纳米压印光刻技术在创新产品领域的应用，为客户提供纳米压印光刻整体解决方案，助力客户实现创新技术到产品的转化。
AR衍射光波导的加工对于纳米压印光刻设备和压印材料要求很高，因此，天仁微纳与DELO公司针对光波导量产方案进行了深入研究。在天仁微纳自主研发的GL300 Cluster全自动纳米压印光刻生产线上，通过使用DELO紫外固化高折射率纳米压印胶材料，实现了300mm直径晶圆级衍射光波导纳米光栅结构的压印过程，结构填充完整，且压印过程具有可重复性和均匀性，这一合作成功验证了大规模生产光波导的可能性。
天仁微纳受DELO邀请，于3月23日，一起登录直播研讨会，展开技术探讨。
本期研讨会主题
- 可用于纳米压印光刻技术（NIL）的设备有哪些？
- AR衍射光波导的母版和拼版是如何工作的？
- AR衍射光波导制造的挑战有哪些？
- 用于纳米压印的高折射率聚合物具有哪些特性？
- 在300mm晶圆上大规模生产AR衍射光波导的前景如何？
- 用于生产AR衍射光波导的其他聚合物方案有哪些？
演讲嘉宾
冀然 博士，天仁微纳 董事长
Stephan Prinz博士，DELO产品经理
主持人
陈永乐，DELO产品经理
直播时间：3月23日，15:30
DELO直播课堂
扫描下方二维码，报名本次直播
