1月6日,晶洲装备国产首台精密掩模版(FineMetalMask,简称FMM)INVAR卷材工艺设备通过厂内验收,发运客户端即将投入生产。
FMM是OLED蒸镀工艺中的核心零部件,其主要作用是生产过程中沉积RGB有机物质形成像素。但是目前FMM供应一直被起步更早的日韩等海外制造商垄断,且INVAR原材料受限于原产地贸易协议,中国大陆的FMM制造企业很难获得25μm以下厚度基材。晶洲装备自主研发生产了国内首台INVAR卷材工艺设备集成脱脂、酸洗、减薄、清洗等多种单元,具备将基材厚度管理至20μm以内水平。
来源:晶洲装备
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