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近日，据ETNews消息，三星已经将韩国本土公司研发的EUV光刻胶（EUV PR），用于一条半导体工艺线生产。
图：东进半导体的化学品产线
据悉，在2019年日本限制对韩国出口EUV光刻胶后，韩国东进半导体就开始研发EUV光刻胶，并在2021年通过了三星电子的可靠性认证，随后在不到一年的时间里，就将其应用到生产线。据悉，东进半导体于2020年聘任ASML Korea前CEO Young-sun Kim为副会长，为进军EUV PR业务打下基础。2021年初，东进通过增加光刻胶研人员来加速产品开发。此后，东进EUV PR在三星华城厂区进行了几个月的验证。由于三星将该产品用于实际的半导体生产，东进半导体成为韩国第一家将EUVPR国产化至量产水平的公司，尽管三星尚未确认是否将引进更大批量的EUV PR，也未确认东进半导体的产品用于哪种工艺，但对于半导体供应链自主已经具有标志性意义。
图：三星半导体产线
在此期间，韩国政府和企业多次赴日商讨放宽管制，但几乎未取得积极成果。但为了避免失去大客户和被韩国本土厂商替代，日本半导体材料企业也纷纷“自救”。芯片大师曾报道住友化学将在韩国建厂生产ArF光刻胶，住友化学宣布在其全资子公司韩国东宇精细化学株式会社益山厂建立一座新的ArF浸没光刻用光刻胶生产工厂。另一家光刻胶大厂TOK（东京应化）则扩大了其在仁川市的工厂，使其本地光刻胶产能比2018年翻了一番。
同时，向SKHynix供应电子气体的Daikin Industries（大金工业）与韩国设备供应商成立合资企业，并在韩国投资40亿日元建立工厂。
图：电子级氟化氢提纯设备
同时，另外一种被日本出口管制的半导体原材料氟化氢的替代进度更快。韩国化学厂商Soulbrain于2020年1月研发出高纯度氟化氢，目前正在向三星电子供货。当Soulbrain研发氟化氢的消息传出后，日本恢复了对韩国的出口。目前，SK Materials、Ram Technology、ENF Technology已成功开发出氟化氢，部分产品已被半导体厂商用于量产。根据韩国工业部的数据，3年间韩国氟化氢进口量下降66%，从2019年的3630万美元下降到去年的1250万美元。———— / END / ————
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