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近日,据ETNews消息,三星已经将韩国本土公司研发的EUV光刻胶(EUV PR),用于一条半导体工艺线生产。
图:东进半导体的化学品产线
图:三星半导体产线
同时,向SKHynix供应电子气体的Daikin Industries(大金工业)与韩国设备供应商成立合资企业,并在韩国投资40亿日元建立工厂。
图:电子级氟化氢提纯设备
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