我国科研领域传来喜讯!
中国长城科技集团官方宣布,旗下郑州轨道交通信息技术研究院、河南通用智能装备有限公司,历时一年联合攻关,我国第一台半导体激光隐形晶圆切割机已于5月8日研制成功,填补国内空白,并实现了最佳光波和切割工艺,在关键性能参数上处于国际领先水平。
中国长城表示,这标志着,我国半导体激光隐形晶圆切割技术取得实质性重大突破,相关装备依赖进口的局面即将打破,开启了我国激光晶圆切割行业发展的序幕。
据悉,郑州轨交院成立于2017年,几年来一直围绕自主安全工业控制器、高端装备制造、新一代信息技术突破开展科研创新、技术攻关,被中国长城旗下公司收购后,更是进入新一轮加速发展期。
据介绍,晶圆切割是半导体封测工艺中不可或缺的关键工序,而与传统的切割方式相比,激光切割属于非接触式加工,可以避免对晶体硅表面造成损伤,并且具有加工精度高、加工效率高等特点,可以大幅提升芯片生产制造的质量、效率、效益。
我国的第一台半导体激光隐形晶圆切割机通过采用特殊材料、特殊结构设计、特殊运动平台,可以实现加工平台在高速运动时保持高稳定性、高精度,运动速度可达500mm/s,效率远高于国外设备。
在光学方面,根据单晶硅的光谱特性,结合工业激光的应用水平,该设备采用了合适的波长、总功率、脉宽和重频的激光器,最终实现了隐形切割。
在影像方面,采用不同像素尺寸、不同感光芯片的相机,配以不同功效的镜头,实现了产品轮廓识别及低倍、中倍和高倍的水平调整。
此外,该装备还搭载了同轴影像系统,可以确保切割中效果的实时确认和优化,实现最佳切割效果。
高端智能装备是国之重器,是制造业的基石,尤其是半导体领域内高端智能装备,在国民经济发展中更是具有举足轻重的作用。
另外简单回顾下,中芯国际上周发表公告,两大国家级投资基金——国家集成电路基金II及上海集成电路基金II分别注资15亿、7.5亿美元(约合160亿元),此举将推动国产14nm及以下工艺量产。
这次两大基金增资的目标是中芯南方,也就是中芯国际与多个公司合作成立的子公司,位于上海,其14nm、12nm工艺就是中芯南方生产的,整个项目投资高达90亿美元,是国内建设的最先进的晶圆厂。
中芯南方将主要从事集成电路芯片制造、针测及凸块制造,与集成电路有关的技术开发、设计服务、光掩膜制造、装配及最后测试,并销售自产产品、批发、进╱出口相关上述产品、佣金代理(拍卖除外)及提供相关配套服务。
中芯国际原本在中芯南方占比50.1%,在新的合约中,各方的股权将有所变化,中芯国际的股权将降至38.5%,其他分别由国家集成电路基金、国家集成电路基金II、上海集成电路基金及上海集成电路基金II拥有14.562%、23.077%、12.308%及11.538%权益。
根据中芯国际的公告,目前中芯南方14nm的产能已经达到了6000片晶圆/月,这个速度还是很快的,去年底量产的时候据悉产能不过1000片晶圆/月,3月底的时候目标是4000片晶圆/月。
中芯南方的最终目标产能是35000片晶圆/月,主要生产14nm及以下工艺先进晶圆,包括14nm改进型的12nm工艺,未来还有下一代的N+1、N+2代工艺。