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签约仪式上,项目负责人张汝京博士为大家介绍了关于光罩的“知识点”。
编辑|感知芯视界
8月19日上午,南湖高新区微电子产业又添一员“猛将”——光罩材料产业链项目签约仪式在浙江嘉兴科技城(南湖高新区)智立方举行。签约仪式上,项目负责人张汝京博士为大家介绍了关于光罩的“知识点”。据介绍,光罩也称为光掩模版,在IC制造过程中,其作用是将设计好的电路进行显影,将图形投影在晶圆上,利用光刻技术进行蚀刻,是半导体光刻工艺中所需的高精密工具。据悉,该项目总投资30亿元,首期投资11亿元,将落户于南湖高新区集成电路产业园,主要从事光罩材料产业链相关产品的研发制造,产品包括高平整度石英基板、镀膜基板(含二元及相位移的)、保护膜等原材料。项目计划于今年9月启动,2023年4月第一条生产线试生产,2024年1月正式投产,2026年1月达产,财务机构预估达产后年产值不低于10亿元,年税收不低于1.1亿元。“在5G、人工智能、物联网等产业快速壮大的拉动下,全球半导体市场蓬勃发展,光罩作为芯片的关键原材料,市场需求不断上升。”嘉兴立恩半导体科技有限公司项目总联络人邹才明表示,本项目的设立,旨在成为国内光罩上游材料龙头,填补国内该方面的技术空白。“张汝京博士是世界半导体行业的资深人士,也是中国半导体行业的杰出人士,此次他带领团队在南湖高新区实施光罩材料产业链项目,将对南湖区微电子产业发展产生极大标杆引领和驱动作用。”南湖高新区管委会副主任杨玲珠表示,南湖区将提供一流营商环境,倾尽全力为项目推进保驾护航,让项目早日投产,早日达产。据介绍,嘉兴科技城(南湖高新区)第一大主导产业便是微电子产业,近年来,嘉兴科技城(南湖高新区)聚焦半导体关键原材料、半导体器件、智能终端应用三个领域打造国内领先、特色鲜明的微电子产业,目前已集聚微电子产业200多家,去年工业总产值达370亿元。“今年,我们围绕产业链靶向招商,目前已引进微电子项目14个,预计今年微电子产业工业总产值突破400亿元。”杨玲珠介绍。张汝京博士是世界半导体行业的资深人士,也是中国半导体行业的杰出人士,有着“中国半导体产业教父”的美誉。他一手创办了中国大陆芯片制造业龙头中芯国际,并一直积极参与芯片产业建设发展:66岁创办大陆第一家300mm大硅片企业上海新昇半导体,70岁创办大陆第一家CIDM(协同式集成电路制造)模式企业青岛芯恩半导体……根据相关材料介绍,不久前,他刚刚完成又一次职业转舵——从青岛芯恩离职,加入上海积塔半导体。
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