线上研讨会|MEMS器件开发：高效率L-Edit版图及定制工艺设计平台

Tanner L-Edit MEMS 是一种高级版图编辑器，具有曲面多边形和任意角度布尔运算等能够支持 MEMS 版图设计的功能。与其他专为机械工程而设计的 CAD 工具不同，L-Edit MEMS 以半导体产线的精度进行版图开发，针对 MEMS 器件特有的曲线结构可以实现直接绘制、图形逻辑运算及图层派生。同时可以无缝衔接 CAD 工具输出的数据格式，方便不同的设计团队在不同的设计阶段进行数据转换。利用众多强大的功能，例如出色的曲线支持、交互式 DRC、布尔运算、对象捕捉和对齐，可以更高效地开展工作， 以节省时间和成本。

• 概述 Tanner/L-Edit 与 MEMS

• L-Edit 用于 MEMS 版图设计的优势

• 基于 L-Edit 的 MEMS 3D 建模

宋琛

从事模拟数字混合芯片开发十余年，涉及电源管理芯片、显示驱动芯片等，熟悉芯片开发流程及EDA工具的匹配。2018年加入西门子EDA，负责AMS/ MEMS/ Photonics设计平台-Tanner EDA在中国大陆地区的推广和技术支持。

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