随着科技的飞速发展,等离子体技术也日趋成熟,其发明和成果也广泛应用于工业生产和日常生活中。而其中的微波等离子体技术以其电子温度高、电子密度高、电离度高、工作气压范围宽、无电极污染而受到业界的认可和青睐。
等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的独特现象和物质。典型的等离子的组成是电子、离子、自由基和质子。就好象把固体转变成气体需要能量一样,产生离子体也需要能量。而微波等离子体设备产生能量的主要来源便是微波发生器。微波发生器是为微波等离子体装置提供能量的单位,它可把电能变换为额定频率(915MHz和2.4GHz)的微波能量,并实现对微波功率的调控。
微波发生器作为微波等离子体设备的核心功能单元,它输出功率的稳定性和可靠性严重影响着微波等离子体技术的发展。作为提供能量的部分,微波发生器需要维持等离子体设备进行长时间连续平稳运行,如微波等离子表面处理、制备大面积金刚石薄膜等。同时微波发生器的功率大小以及平稳性的高低直接决定了等离子体的多个性能,并间接影响目标物的性能及参数。固态功率源作为新兴的微波发生器,以其高稳定性、高可靠性、高安全性等优势,非常适合替代磁控管应用于微波等离子体技术中,尤其是金刚石薄膜的制备中。
摩极科技以射频技术为核心,推出了100W-15KW系列微波能固态源产品,广泛服务于金刚石生长、工业等离子、医疗、化工、食品、生物等多个行业领域。
深圳摩极科技有限公司
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