部分资料内容简介
在当今的 MEMS 设计领域，集成比以往任何时候都更重要。西门子Tanner MEMS 设计流程不仅简化了 MEMS 器件与模拟/混合信号处理电路的集成，还提供了改善 MEMS 器件可制造性所需的工具。Tanner L-Edit MEMS是一种高级版图编辑器，具有曲面多边形和任意角度布尔运算等能够支持 MEMS 版图设计的功能。与其他专为机械工程而设计的 CAD 工具不同，L-Edit MEMS 以半导体产线的精度进行版图开发，针对MEMS器件特有的曲线结构可以实现直接绘制、图形逻辑运算及图层派生。同时可以无缝衔接CAD工具输出的数据格式，方便不同的设计团队在不同的设计阶段进行数据转换。利用众多强大的功能，例如出色的曲线支持、交互式 DRC、布尔运算、对象捕捉和对齐，可以更高效地开展工作， 以节省时间和成本。
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MEMS器件开发：高效率L-edit版图及定制工艺设计平台
Siemens EDA模数混合芯片开发全流程by Tanner
第三代半导体与功率器件
硅基光电子芯片开发EDA全流程
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