半导体工艺设备——干法去胶、刻蚀、抛光、清洗的进展

科创之道 2022-07-06 18:52


昨晚,半导体设备公司——中微公司发布2022年度中报业绩预告,公司预计2022年半年度营业收入约19.7亿元,同比增长约47.1%;预计归母净利润为4.2亿元到4.8亿元,同比增加5.89%21.02%;同期实现扣非后净利润为4.1亿元到4.5亿元,同比增加565.42%630.34%


由于中微公司在科创板上市,中报预告属于自愿披露,非强制。这也是中微公司上市以来首次披露中报预告。预告显示,公司2022年1-6月公司新增订单约30.6亿元,同比增长约62%


2022年上半年 新签订单金额30.6亿元2021年全年 新签订单金额41.3亿元2020年全年 新签订单21.7亿元


2022年上半年约占去年全年新签订单的74%,从近三年新签订单金额来看,随着半导体代工制造企业扩产,设备端景气度持续上升。


依据券商调研数据,2022 年上半年干法去胶、刻蚀、清洗设备国产率较高。按照国产设备中标数量从高到低排序,不同工艺设备国内厂家中标情况如下


刻蚀设备(44 台)、沉积设备(29 台)、炉管设备(26 台)、干法去胶设备(25 台)、前道 检测设备(11 台)、抛光设备(9 台)、清洗设备(19 台)、离子注入机(7 台)、 后道测试设备(12 台)、涂胶显影设备(6 台)、光刻机(1 台)。


其中国产率较高的环节主要为干法去胶设备(国产率81%)、刻蚀设备(54%)、抛光设备(43%)、 清洗设备(58%)、涂胶显影设备(35.3%)。


从年度数据来看,2021 年设备国产率达 27.4%,较 2020 16.8%有明显提升。2022 1-6 月开标的 548 台设备中,源自中国大陆厂家制造的设备共计189 台,占比达 34.5%


图表:2022 年1-6 月干法去胶、刻蚀、抛光、清洗国产率较高


今日A股指数失守3400点的档口,半导体设备相关公司股价逆势而上,中微公司股价上涨13.79%,拓荆科技涨15.86%,盛美上海涨11.22%……投资者对半导体设备公司业绩保持乐观。


中微公司:扣非净利润同比增长5-6


图表:中微公司扣非净利润(历年中报及2022年中报预告)图表:中微公司归母净利润(历年中报及2022年中报预告)可以看到,中微公司营收、净利润稳步增长,扣非净利润表现极为优异。对此,公司表示,扣非后净利润同比增加主要系2022年上半年,公司克服了疫情的不利影响,同时受益于设备市场发展以及公司产品竞争优势,公司2022年上半年的营业收入和毛利同比均有大幅增长。


与此同时,上半年非经常性收益较上年同期减少约3.3亿元。非经常性损益的变动主要包括:政府补助收益较上年同期减少约2.1亿元;股权投资产生的公允价值变动收益较上年同期减少约2亿元,主要是由于中微公司持有的 中芯国际 天岳先进 的股票价格在本期有所下降。


综上,中微公司2022年上半年非经常性收益减少,主营业务收入利润增加,由此扣非净利润同比增长5-6倍。


分业务看,中微公司主要经营刻蚀设备、MOCVD设备、备品备件、设备维护四个业务,按照2021年营收占比分别为64.48%16.18%17.89%1.45%,刻蚀设备营收占比最高。虽然预告中并未详细说明各项业务经营情况,但在今年上半年机构调研中,中微公司表示:


刻蚀设备方面,公司开发的12英寸高端刻蚀设备已运用在国际知名客户65纳米到5纳米等先进的芯片生产线上;同时,公司根据先进集成电路厂商的需求,已开发出小于5纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工,并已获得行业领先客户的批量订单。公司目前正在配合客户需求,开发新一代刻蚀设备和包括更先进大马士革在内的刻蚀工艺,能够涵盖5纳米以下更多刻蚀需求和更多不同关键应用的设备等。


MOCVD设备方面,中微表示目前在照明、显示市场应用广泛。更重要的是Mini LEDMicro LED市场的拓展,相关市场的发展前景很大。MOCVD设备重要的应用还包括功率器件等。市场机构预测到2026年,全球每年需求超过800MOCVD设备。中微公司在其中三个领域有开发相关产品,公司将继续开发照明、显示领域,包括Mini LEDMicro LED,以及功率器件等等领域的外延设备。公司预计可以覆盖大约75%MOCVD设备市场。


公司还积极布局用于功率器件应用的第三代半导体设备,启动了应用于制造 Micro LED、功率器件等生产的 MOCVD 设备的开发,将进一步稳固、提升公司在 MOCVD 产品上的领先市场地位。


此外,江西省南昌市高新区约14万平方米的研发生产基地已全面封顶,计划将于2022年内陆续投入生产。南昌产业化基地主要承担较为成熟产品的大规模量产及部分产品的研发升级工作。


7月,科创板迎来解禁潮


2019年722日,科创板首批公司上市,中微公司位列其中。科创板开板三年以来,半导体行业上市公司已经突破100家,除封测外,其他半导体细分领域标的倍增,极大促进了半导体产业链持续完善。


图表:科创板开板前后半导体产业链上市公司家数


如今,三年期满,众多科创板上市公司也迎来“大非”解禁潮。今年7月科创板将有106.7亿股面临解禁,解禁市值约2665亿元。


图表:科创板解禁数量(股)图表:7月科创板解禁市值top10公司除解禁大事外,需要注意的是,今年A股财报披露规则修订,需要注意四点:


1、沪市主板增加中报预告要求2、深市主板删除一季报、三季报预告披露要求3、沪深主板增加年报预告4、科创板、创业板披露规则未改尤其是 沪市主板中报预告有条件强制披露这一条,在此前是没有的。强制披露条件:净利润为负、净利率同比增长/减少50%以上、扭亏为盈、年报预告情形新增“扣非为负”或“主营收入< 1亿”。沪市主板中报预告披露时间节点是715日。


——创道硬科技研究院——

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