水的纯度对于电子和电力行业的生产至关重要。水中的污染物会影响产品质量,特别是在生产微电子元件的半导体行业。因此,在这种情况下,只能使用最高纯度的水,如超纯水。
在用于这些生产活动的超纯水系统中,将总有机碳(TOC)水平降至最低至关重要,因为TOC会留下残留物,并对最终产品造成小的缺陷。Evoqua懿华的ATG™ VT TOC系列紫外线消毒系统是为电子和电力行业的超纯水工艺中显著地降低TOC而设计的。
ATG™ UV 紫外线消毒系统 - VT 系列
在最终抛光之前,通常将安装降低TOC的UV装置,作为整个超纯水处理工艺(见下图)的一部分。紫外线装置将超纯水暴露在185nm的紫外线下。这种波长的紫外线产生了一种短寿命的羟基自由基,能够以足够的紫外线能量将TOC分解成二氧化碳。因此,有效降低TOC紫外线装置的关键是最大限度地提高185nm处的紫外线输出。
△ 简化的超纯水工艺流程图
设计独特
Evoqua的ATG™ UV系列产品中的VT TOC系列是为在电子和电力行业的超纯水工艺中去除TOC而设计的。
产品优势
高效、经济
采用高效节能的紫外线光源和最新的可变功率电子镇流器,提供经济高效的处理方法和便于集成的灵活选择。Evoqua的 VT TOC采用高效节能的紫外线光源和最新的可变功率电子镇流器,为您提供经济高效的处理方法和便于集成的灵活选择。低压、高输出灯管与可变功率选项相结合,使运营商在提供所需的处理效果的同时,能够最大限度地降低运营费用。
从表面处理到管道连接的一系列可配置选项允许用户根据其特定要求轻松进行产品配置。
精密控制系统
Spectra 3控制系统是一种先进的微处理器,专为控制灵活性和系统集成而设计。通过一系列用户可选的模拟、数字输入和输出,再结合Modbus®功能,可简便地连接到SCADA或BMS系统。Spectra 3还提供了一个数据记录设备,当设备连接至互联网时,其可以通过手机或平板电脑远程检查性能。
提升生产正常运行时间
专利申请中的*TwistLok™灯管配置,可将简单的灯管连接与机械安全联锁相结合,使灯管的更换安全而迅速,让运营商从中受益。此外,V形夹石英密封系统可确保密封件能够准确安装,而不会对石英套筒产生压力或出现密封圈泄漏。
该系统采用最新的AT-900紫外线强度系统,可追溯至NIST标准,能够提供有效的性能监测方法,从而确保系统运行的可靠性。利用AT-900的反馈可改变紫外灯的功率,从而为更大型的系统节省能耗并延长灯管寿命。
*正在某些国家申请专利
产品规格
高效和增强型功率控制
高性能185nm TOC去除灯
维护简便、快速、可靠
通过精密的控制系统加强性能监控
内置安全功能
MODBUS或PROFIBUS连接
控制屏可显示紫外强度、剂量、运行
时间、流体温度、功率等运行参数
市场与应用
1
电力
2
微电子
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