MEMS纳米线传感平台实现单个传感器可精确测量流量和温度

原创 MEMS 2022-03-05 00:00

具有多种传感功能的突破性解决方案有望革新流量传感,并将其推广到医疗、物联网和工业应用等广泛市场。



据麦姆斯咨询报道,总部位于美国加利福尼亚州的Instrumems近日宣布凭借一款多传感解决方案跨入流量传感器市场,这是全球首款也是目前唯一一款利用单个传感器精确测量流量和温度(包括极低流量)的传感解决方案。Instrumems还通过应用先进算法的实时边缘计算,扩展了物理传感器的性能。

Instrumems是一家无晶圆厂半导体设计公司,开发了一种新型MEMS“纳米线”传感平台。Instrumems的平台支持传感器融合,以及流量、温度、速度和湿度的高精度测量。其传感器速度快、精度高、体积小、功耗低,再加上先进的算法和软件,提供了完整的传感解决方案。

Instrumems传感平台非常适合需要在呼吸设备中进行实时传感的低功耗应用,例如CPAP持续气道正压通气系统、智能吸入器和呼吸机等。其多传感解决方案也适用于需要精确流量测量的热管理和仪器仪表。Instrumems还计划扩大对其他传感参数的支持,例如气泡检测和气体检测。


Instrumems多传感解决方案可以集成到呼吸设备中,例如吸入器、呼吸机、CPAP持续气道正压通气系统以及肺活量计等。


Instrumems的愿景是通过数据数字化为各种设备提供智能传感解决方案,并为过去无法实现的应用提供实时流量传感和控制。此前,需要流量传感器的产品面临多方面的限制,例如外形尺寸、电池寿命、成本、速度和传感器精度等。如今的流量传感器往往体积庞大且价格昂贵,不适合消费类产品或大批量应用。

Instrumems突破性的多传感技术降低了成本、功耗和尺寸,使工业和消费品制造商能够在更多设备上应用智能传感解决方案。Instrumems提供了一款评估套件可用于演示其流量和温度传感,并且提供传感器封装的快速定制,以适应各种应用。


封装后的流量和温度传感器


定制化封装


“目前市场上还没有其他组合式温度和流量传感器能够像Instrumems的多传感流量解决方案那样小巧、低功耗、快速且经济。我们的传感技术为众多行业打开了大门,从而将尖端流量传感解决方案集成到过去因成本、精度和外形尺寸而无法应用的场景。”Instrumems创始人、首席执行官Gilad Arwatz说,“我们创新的传感技术能够帮助客户实现产品的现代化、小型化及智能化升级,使其更具竞争力和美学吸引力。”

Instrumems的技术源自普林斯顿大学的十多年开发。其传感器采用标准的半导体、MEMS工艺制造,其中包括一些独特的工艺步骤。通过使用各种电子技术,Instrumems的传感器能够测量流量、温度、速度和湿度。其传感器极小的热质量使其可以在10 kHz到100 kHz的高频下进行测量,因此具有更卓越的时间分辨率,而传感元件的小尺寸可以获得非常高的空间分辨率。

Instrumems开发了方便传输数据的独特软件和电子器件,包括BLE和Wi-Fi模块。低功耗优势使其成为电池供电设备的理想选择。Instrumems还开发了专有的流体力学模型,整合到算法中,能够利用单个传感器同时测量不同的流量,以及温度。

Instrumems的新型MEMS“纳米线”传感平台灵活且多功能,支持流量、温度和湿度的测量。此外,Instrumems还在研发以探索更多的传感解决方案,包括二氧化碳、真空压力等。



关于Instrumems

Instrumems总部位于美国加利福尼亚州的硅谷,其技术由Marcus Hultmark教授和Gilad Arwatz博士在普林斯顿大学开发。该公司旨在将能够测量气体和液体的流量、温度、速度和湿度的新型传感技术商业化。Instrumems卓越的传感器技术可以赋能广泛的传感器驱动型新应用。

延伸阅读:
《盛思锐气体传感器SGP30产品分析》
《环境气体传感器技术及市场趋势-2020版》



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