中国将成为全球半导体芯片制造的中心,市场巨大!
FOUP盒是什么?
FOUP盒应用于晶圆厂
FOUP盒应用于晶圆厂:
晶圆切割、磨抛、出货
晶圆表面沉积、光刻、清洗、减薄、出货
晶圆封装、切割分片
等晶圆加工设备需使用高洁净盒保护产品
晶圆生产良品率息息相关
客户的主要产品为晶圆(如图)
制程要求极高且成本价格高,
针对晶圆保护及生产周转需订制保护盒
因此行业内FOUP盒在生产的应用上非常广泛,
FOUP盒本身单价也达数千元,
制程高洁净高良率的需求及生产所需数量,
FOUP盒清洁设备就非常重要。
FOUP盒清洁市场短缺,国产设备商空缺
客户FOUP盒因需搭配制程设备会有所不同
内部清洁非常不易
国内针对该技术及经验短少
国内目前尚无成熟设备商
国内市场目前以美系、日系为主
国产设备商空缺暂无成熟高效的设备
FOUP盒功能:
半导体生产中晶圆移载搬
送专用盒(FOUP)清洁。
主要技术为离心清洗及紅外
乾燥控制技術。
清洗洁净度可达 ISO Class 10
0.1um尘物数量小于10。
形势空前严峻
FOUP清洗“卡脖子”,国产设备当自强
目前中国半导体产业形势空前严峻,中美关系是当今世界最重要的双边关系,甚至是没有“底线”的。在逆全球化中,中国半导体还是高度依赖国际半导体供应链的产业。具体来说,设备、零部件和材料是集成电路中最具战略性、基础性和先导性的部分,但中国半导体产业在此三方面存在很多短板,每一个短板都会被利用来“卡脖子”。
据业界人土透露,目前 FOUP 清洗设备在国内市场仍是空白,但已知有多家企业提出这方面的需求,如:中芯国际、长电科技等,按照目前产能的配比,预计目前市场每年总需求量在600—800台。
鉴于此危机,首年科技(深圳)有限公司整合全公司资源,全力以赴开发国内首台具有自主知识产权的晶圆盒清洗设备,SN830(离心式)清洗设备是采用超纯水(DIWATER)喷淋,搭配离心式,快中波红外线,CDA、N2喷气烘干等技术呈现出先进及独特性;以独家软件控制、独特的抗震设计及独特针对超纯水搭配的快中波段石英烘干灯管等设计,使该设备在运行清洗能达到高端纳米级清洗制程要求,且兼顾节能与环保;本机采用喷淋离心式烘干设计,多项技术属于自主开发,使其表面洁净度达到Class100。该产品采用半导体设备SEMI STANDARD设计、制造和认证,遵循SEMI S2-0818E、S8-0915、S10-0815、S22-0715规范,目前该设备已通过SEMI协会和SGS机构认证,成为国内首台具有自主知识产权的晶圆盒清洗设备,以国产代替进口产品,质量达到国际同类产品水平。
国产代替进口
SN830(离心式)FOUP清洗设备值得信赖
NO.1
相比昂贵进口设备,首年科技设备性价比高!
NO.2
关键是性能稳定,售后服务第一时间响应
我司采取就近服务原则,华东华南都设有生产基地,
第一时间解决客户问题
NO.3
人工上下料,操作简易,方便生产使用
首年科技服务热线:
FOUP清洗设备服务专家 :
李先生18666291777
(欢迎交流合作)
首年科技服务热线:
FOUP清洗设备服务专家 :
李先生18666291777
(欢迎交流合作)