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SFQ/SFQZ系列湿法清洗设备
SFQ/SFQZ系列湿法设备广泛应用于集成电路、光电子器件、MEMS及分立器件、半导体材料加工、太阳能光伏等领域，用于各种半导体基片及类似材料制造过程中湿化学处理工艺，有手动、半自动及全自动三种配置。
六大专有技术
· 湿法清洗设备系统集成技术
· 气/液自动传输及控制技术
· 材料与化学工程防护技术
· 温度传递及精确控制技术
· 晶片自动传输及自动控制技术
· 溶液流场均匀性控制技术
主要技术特点：
· 系统结构：设计紧凑、洁净、防腐、安全、多种式样机架可供选择
· 控制方式：采用高性能PLC或工控机实现集中控制，结合单元功能控制简化操作
· 槽体配置：材料：NPP、PVDF、PTFE、石英、PVC、不锈钢等多种材料
功能：恒温控制（加热/制冷）、循环、过滤、自动补液、抖动、旋转、超声/兆声、溢流、快排、鼓泡、干燥等
· 定制设计：根据用户要求提供工艺配置及技术支持
DFQ系列全自动单晶圆湿处理设备
随着微电子新材料的广泛使用及器件特征尺寸的不断减小，单晶圆湿处理设备得到广泛应用，45所结合多年来在湿法设备方面的设计制造经验，研发出了应用于集成电路（IC）、分立器件、声表面波（SAW）器件、GaAs微波、毫米波器件、MEMS器件、OLED器件、先进封装等行业的单晶圆湿处理设备。
DFQ-3100型全自动金属膜剥离清洗系统
用于声表面波（SAW）器件、GaAs微波、毫米波器件、MEMS器件、OLED器件和先进封装等制造中微细图形金属膜剥离工艺，自动完成厚度在0.25～0.7mm的4＂～6＂具有基准边的标准圆片金属膜剥离、冲洗和甩干工艺，剥离线宽能做到CD=0.35um以上，是前制程工艺中的关键设备
CXS系列旋转冲洗甩干机
CXS系列旋转冲洗甩干机主要用于硅圆片、光刻版等类似材料的高洁净度冲洗及干燥工艺，适用于2-12英寸晶圆，LXS系列旋转冲洗甩干机主要用于材料加工、太阳能电池片、分立器件等行业、单台产量大、效率高。
· 采用高性能可编程控制器实现逻辑控制
· 采用彩色液晶汉显监控，可存储百种用户工艺菜单
· 结构采用洁净化处理技术
· 去离子水电阻率监控
· 防静电控制
· 氮气温度控制
· 腔体温度控制
· 转轴氮气密封
· 无刷电机驱动
· 旋转载体定位
· 故障诊断，显示及报警
LXS系列立式旋转冲洗甩干机
LXS系列立式旋转冲洗甩干机主要用于材料制备、太阳能电池片、分立器件等行业中晶片的冲洗干燥工艺。该产品基础成熟可靠，得到用户的广泛认可，具有极高的市场占有率。
主要技术优势
技术起点高，工艺适应性强
动平衡精度高，碎片率小于万分之三
多项专利技术的应用，确保设备运行稳定
航天级关键部件
