英特尔4nm EUV光刻工艺生产确定,一代EUV处理器上市时间2023年

据悉，台积电公布最新的数据后，台积电的主要利润来源于采用先进工艺制造的芯片，目前台积电拥有超过50台EUV，先进工艺的产能相当于三星的三倍。与台积电、三星相比，Intel这几年在半导体工艺上放慢了脚步，这里面原因有很多，不过一个重要因素就是Intel一直认为EUV光刻工艺不成熟，他们追求的是在没有EUV光刻机的情况下开发7nm甚至5nm工艺，结果耽误了时间。

面对对手在EUV光刻上的领先，Intel现在也加快脚步了，原先叫做7nm的节点现在改名为Intel 4，这是Intel第一个使用EUV光刻机的工艺。

此外近日在接受媒体采访时，英特尔逻辑工艺开发总经理Sanjay Natarajan确认，英特尔已经确认EUV光刻工艺可以达到用于生产的地步，英特尔也会迅速转向该工艺，EUV可以简化很多工艺流程，将30步工艺减少为3步操作，降低了出错的可能。

Sanjay Natarajan确认，英特尔第一代EUV光刻的处理器会在2023年出货，桌面版是Meteor Lake，服务器端则是Granite Rapids处理器。

Intel 4工艺就是之前的Intel 7nm工艺，是Intel接下来非常重要的工艺节点，会首次引入EUV光刻机，能效比再提升大约20％，明年下半年投产，2023年产品上市。

现在Intel首次透露了这个“4nm EUV”工艺的进展和该工艺生产的晶圆测试过程。最后的结果就是通过了所有测试，内部的SRAM、逻辑单元、模拟单元都符合规范。

Meteor Lake处理器大家很熟悉了，这就是2023年要发布的14代酷睿，除了EUV工艺之外，还会使用先进的3D封装，分为多个模块，其中CPU计算模块的IP已经tape in，今年底或者明年初应该就流片了。

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