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带你去看看GlobalFoundries纽约州晶圆厂的内部

2015-09-06 Jessica Lipsky 阅读:
GlobalFoundries的Fab 8是美国规模最大的半导体晶圆厂之 一,座落于纽约州Malta的Luther Forest科技园区,面积233英亩(acres)。目前Fab 8是GlobalFoundries全球共9座晶圆厂中采用最先进工艺的据点……

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晶圆代工业者GlobalFoundries的Fab 8是美国规模最大的半导体晶圆厂之 一,座落于纽约州Malta的Luther Forest科技园区,面积233英亩(acres)。目前Fab 8是GlobalFoundries全球共9座晶圆厂中采用最先进工艺的据点,正生产14纳米芯片并准备投入10纳米工艺;以下是EE Times美国版记者受邀参观Fab 8,深入晶圆厂内部的一手报导。

新兴的物联网(IoT)应用可能不需要先进工艺,并因此让现今 28纳米主流工艺的生命周期再延长;不过GlobalFoundries的高层主管并不担心需求会停滞,尽管新一代工艺节点技术更加复杂、成本也更高昂。 Fab 8总经理Tom Caulfield表示,28纳米与14纳米节点的生命周期确实会很长,但半导体产业仍在继续依循摩尔定律(Moore's Law)的脚步,不只推动工艺的微缩,也追求更高兴能与更低的成本。

GlobalFoundries美国纽约州Fab 8晶圆厂区外观《电子工程专辑》
GlobalFoundries美国纽约州Fab 8晶圆厂区外观

Malta 这座小镇位于纽约州首府Albany北方约40分钟车程,Fab 8原本是AMD的设厂预定地,在2009年正式开幕,并取得纽约州政府的大力资助;该厂总投资金额高达115亿美元。在AMD逐渐退出Fab 8的投资之后,现在该晶圆厂是100%属于阿拉伯联合酋长国阿布扎比(Abu Dhabi)政府旗下投资公司Mudbadala 。

Fab 8负责开发28纳米以下工艺,月产6万片12吋晶圆(GlobalFoundries的新加坡晶圆厂生产180纳米~40纳米工艺节点,德国 Dresdon据点则生产48纳米~22纳米芯片);该晶圆厂的无尘室面积约40万平方英呎,分三阶段开发。晶圆厂扩建工程仍持续进行中,动员约 1,500人力,而在14纳米工艺生产线开发的全盛时期曾达到4,000人力。

Fab 8的晶圆厂据点建筑与基础建设总监Gerald Goff表示,晶圆厂的建筑是非常困难的,而如Fab 8这样大规模的晶圆厂建案在当地是前所未见;而Fab 8的基础建设与人力来自于全美各地,包括德州等拥有半导体产业丰富经验的区域。

Fab 8针对下一世代10纳米工艺节点生产线的第三阶段扩建正在进行中《电子工程专辑》
Fab 8针对下一世代10纳米工艺节点生产线的第三阶段扩建正在进行中

本文下一页:邻近哈德逊河,Fab 8水源充足却容易有麻烦……

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Fab 8使用National Grid提供的区域电网,并拥有 (megawatts)的柴油备用发电机,可供应晶圆厂所需的214兆瓦电力;此外该厂在冬季每小时消耗475,000立方英呎(cubic feet)的气体,每日用水量350万加仑(gallon),有来自附近泉水与哈德逊河(Hudson River)的充足水源。

而Fab 8有个与技术无关的大 麻烦──总是会有野生雁鸭飞到该厂的供电网络里,因为身体潮湿误触电线而被“烤熟”;为此Goff只好在厂区附近的池塘放数个诱鸟器,以阻止野生雁鸭靠近他们的电源线。

虽然邻近水源会到“会飞的麻烦”,但这仍是一个兴建大型建筑物的好据点;例如该厂有一座从日本运来的压缩机塔,就能透过船运再以卡车接驳。Goff补充指出,内陆城市若要有效率地运输大型设备就困难得多。

GlobalFoundries的Fab 8有三层楼高的无尘室,员工有2,700人,以轮班制维持24小时生产线运作;生产线工程师进入宽广的黄光区之前需经过消毒程序,卸妆、在黏蝇纸上来来回回走很多次以清除鞋底的灰尘、并穿上只露出眼睛的无尘衣。

无尘室装备包括两层手套、套在鞋子外面的塑料鞋套以及护目镜,在温度可能高达摄氏70度的厂房内让人汗流浃背《电子工程专辑》
无尘室装备包括两层手套、套在鞋子外面的塑料鞋套以及护目镜,在温度可能高达摄氏70度的厂房内让人汗流浃背

生产在线的晶圆传送盒(FOUP)能携带20片12吋晶圆,在数英哩的高空轨道上经过扩散、清洗、微影、蚀刻、抛光、薄膜与量测等数道程序;但GlobalFoundries不愿透露整个芯片制作过程所需的时间,或是刚飞过我们头顶的芯片是谁家的。

微影设备是无尘室内最昂贵的工具,看起来就像大冰箱一样;大多数的芯片制造流程是类似的,并根据工艺节点的不同而有一些变化。各种不同的芯片通常是使用相同的工具,而且每套设备可能会负责4~6种产品线。

无尘室内的半导体设备之昂贵程度,可能让它每平方英呎的价格媲美纽约最贵豪宅《电子工程专辑》
无尘室内的半导体设备之昂贵程度,可能让它每平方英呎的价格媲美纽约最贵豪宅
Source:GlobalFoundries

纽约州政府对GlobalFoundries的Fab 8第一阶段开发(包括研发、装机),投资了6.8亿美元;而在经过层层审核之后,纽约州政府也同意基于薪资、财产投资、就业税收抵免等,给予 GlobalFoundries约13~15亿美元的赋税优惠。Fab 8为纽约州创造了1,250个工作机会,自2009年开幕以来,公共投资金额每1美元约可回收2.21美元营收;该公司预计到2015年,该投资报酬率可达到三倍。

编译:Judith Cheng

本文授权编译自EE Times,版权所有,谢绝转载

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Jessica Lipsky
EE Times副主编,调查记者。Jessica Lipsky是EE Times的副主编,负责半导体行业的新闻和趋势。 她是一名调查记者,负责各种行业内的技术、犯罪事件、公司规划和发展以及政府相关报道。 她的工作地点位于旧金山。
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